[实用新型]一种太阳能硅片研磨盘的测量装置有效
| 申请号： | 201120262081.4 | 申请日： | 2011-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN202188822U | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 沈彪;李向清;胡德良 | 申请（专利权）人： | 江阴市爱多光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/28 | 分类号： | G01B5/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214423 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能 硅片 研磨 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种太阳能硅片研磨盘的测量装置，其特征在于，所述装置包括底座以及固定连接在底座上的把持部，在所述底座上依次间隔地顺序安装有三个分别用于测量研磨面外边缘、内部和内边缘的平整度测量仪，所述的底座为方形平台或为圆形平台。
2.如权利要求1所述的太阳能硅片研磨盘的测量装置，其特征在于，所述平整度测量仪为千分表量测尺。
3.如权利要求1所述的太阳能硅片研磨盘的测量装置，其特征在于，所述平整度测量仪为百分表测量尺。
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