[实用新型]一种硅片承载盒阻尼垫

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅片承载盒阻尼垫，特别是在需要进行人工插片时的一种硅片承载盒阻尼垫。

背景技术

硅片经切割、脱胶、初洗后，要插入硅片承载盒，进入下一清洗工序。而插入硅片承载盒阶段，由于插入式靠水流的力量进入硅片承载盒，硅片承载盒内部，每片之间有隔槽，隔槽之间有突出像锯齿般的突出点，当硅片借流水冲力进入承载盒时，一旦有误差易于落在槽齿上造成崩边破损；为了克服这一问题的影响，操作者往往在底部放上一整块泡沫垫，但效果不是很好。

一般情况下硅片采用插片机插片，当硅片出现脏污或者插片机维修时，需要进行人工插片，目前人工插片的做法有两种，一种是自由掉下，另一种是承载器底部塞海面。

硅片自由掉下，以一定速度撞击承载器，会造成硅片亮边，蹦边甚至破片等缺陷，缺陷率大概占人工插片总数的10%左右，造成经济损失。

承载器底部塞海面，不方便作业，效率较低，且海绵进水后如不烘干难存储。

实用新型内容

本实用新型其目的就在于提供一种硅片承载盒阻尼垫，避免了损伤硅片，具有结构简单、成本低的特点，且操作方便、快捷，提高了效率。

实现上述目的而采取的技术方案，包括硅片承载盒，所述的硅片承载盒底部设有阻尼垫，所述的阻尼垫包括带有边框的橡胶垫板，橡胶垫板内设有凸台，凸台外侧与硅片承载盒内腔相连接，所述的凸台顶面不低于硅片承载盒撞击面。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于，由于采用了带有边框的橡胶垫板的结构设计，从而避免了损伤硅片，具有结构简单、成本低的特点，且操作方便、快捷，提高了效率。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步详述。

图1为本装置立体结构示意图。

图2为本装置结构示意主视图。

图3为本装置结构示意俯视图。

具体实施方式

包括硅片承载盒1，如图1所示，所述的硅片承载盒1底部设有阻尼垫4，所述的阻尼垫4包括带有边框的橡胶垫板2，橡胶垫板2内设有凸台3，凸台3外侧与硅片承载盒1内腔相连接，所述的凸台3顶面不低于硅片承载盒1撞击面。

所述的橡胶垫板2内可以设有多个凸台3，所述的凸台3可以布置为方形或矩形，相邻凸台之间设有间距，每个凸台3连接一个硅片承载盒1。

硅片承载盒放于一个橡胶制作的，带有一定数量凸台的阻尼垫。橡胶的硬度低于制作硅片承载盒的工程塑料硬度，能偶起到缓冲的作用。

凸台面高于硅片承载盒原有的撞击面，硅片与橡胶面撞击，避免损伤硅片，承载器可以顺利提起，放下，方便快捷，提高效率。