[实用新型]新型磁传动转动机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空技术领域，具体是一种新型磁传动转动机构。

背景技术

随着科学技术的发展，对真空系统的要求越来越高，这也意味着对包括真空转动传动机构在内的真空零部件的隙漏率要求越来越高。真空技术和真空零部件关键关键技术不仅仅是隙漏率，还在于它们高可靠性。

传统真空转动传动机构的动密封解决方案，包括骨架油封解决方案、o型圈密封方案和磁流体解决方案等等。骨架油封解决方案和o型圈密封方案存在隙漏率问题、可靠性问题。磁流体解决方案存在成本高，可靠性问题；尤其在潮湿地区和有水蒸气的环境寿命很短。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种结构简单、安装维修方便、可靠性强、成本适中的新型磁传动转动机构。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种新型磁传动转动机构，其特征在于：所述磁传动机构包括隔板，所述隔板两侧设有上轴承和下轴承，所述上轴承设有上精密转轴，所述下轴承设有下精密转轴，所述上精密转轴和下精密转轴均设有磁性材料部件，利用磁性材料部件的吸引力或互斥力来传动扭力，转动扭力利用磁场从外面通过密封隔板传到真空中来。

所述隔板优选不锈钢炉体或不锈钢板，还可选用其他金属或非金属材料。

当有转动动作需要传递时，转动一侧固定在上轴承上的上精密转轴时，上精密转轴所带的磁性材料部件也跟随转动，由于吸引力或排斥力的作用，沿着隔板对称设置的磁性材料部件、下精密转轴也跟随转动，就可以带动下精密转轴所连接的部件的转动。

本实用新型所述的新型磁传动转动机构可用于包括滚珠轴承结构在内的其他一切轴承结构之中。

本实用新型的有益效果是结构简单合理，便于安装维修，不存在动密封的缺点、无隙漏可靠性高，成本适中。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图。

图中：1-隔板  21-磁性材料部件  22-磁性材料部件  31-上轴承  32-下轴承

41-上精密转轴  42-下精密转轴

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

如图1所示，一种新型磁传动转动机构，所述磁传动机构包括隔板1，所述隔板1两侧对称设有上轴承31和下轴承32，所述上轴承31设有上精密转轴41，所述下轴承32设有下精密转轴42，所述上精密转轴41和下精密转轴42均设有磁性材料部件21、磁性材料部件22，利用磁性材料部件的吸引力或互斥力来传动扭力，转动扭力利用磁场从外面通过密封隔板传到真空中来。

所述隔板1选用不锈钢炉体或不锈钢板，对于隔板的选材不做任何限定，除示出的不锈钢炉、不锈钢板之外的其他金属或者非金属材料也可称为隔板的替代方案。

当有转动动作需要传递时，转动一侧固定在上轴承31上的上精密转轴41时，上精密转轴41所带的磁性材料部件21也跟随转动，由于吸引力或排斥力的作用，沿着隔板1对称设置的磁性材料部件22会带动下精密转轴42转动，所述下精密转轴42带动与下精密转轴所连接的部件的转动。

本实用新型的机构设计成功应用于离子镀膜中磁传动高压电极；成功应用于硅单晶区熔设备的辅助家人装置和废料接料盒装置。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。