[实用新型]晶片清洗夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶片加工技术领域，尤其涉及一种用于清洗晶片的夹具。 

背景技术

众所周知，在晶片的加工过程中需要对其进行清洗，以便冲洗掉晶片上残留的药液，而在清洗时通常需要使用相应的夹具对晶片进行夹持。如图1所示，在现有技术中所使用的夹具与晶片的接触面积较大，因此，存在冲水时夹具对晶片的阻挡面积大，不利于清洗干净的缺点。另外，在现有技术中所使用的夹具的手柄较长，因此，存在手柄不适合把持、不适用于清洗的缺点。 

实用新型内容

(一)要解决的技术问题 

本实用新型的目的是，提供一种新型的晶片清洗夹具，以便在晶片的清洗过程中能够有效地将晶片清洗干净。本实用新型的另一个目的是，提供一种新型的晶片清洗夹具，使其手柄适于把持、方便清洗操作。 

(二)技术方案 

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种晶片清洗夹具，包括：夹头，用于支撑所述晶片；手握柄，与所述夹头连接；活动卡头，套接于所述手握柄上，可在所述手握柄的长度方向上移动，以配合所述夹头固定所述晶片；所述夹具还包括卡钩，设置于所述夹头和所述活动卡头上，与所述晶片接触，以夹持所述晶片。 

优选地，所述卡钩具有尖端，以点接触的方式夹持所述晶片。 

优选地，所述卡钩纵向截面为三角形。 

优选地，所述夹头为菱形，其第一角与所述手握柄连接。 

优选地，所述卡钩为四个，其中两个卡钩设置于所述夹头的第二角的两条边上，所述第二角与所述第一角相对设置，另外两个卡钩设置于所述活动卡头上。 

优选地，所述夹头第二角的两条边的外侧厚度大于其内侧厚度。 

优选地，所述手握柄靠近所述夹头的一端上设置开孔。 

优选地，所述手握柄上的开孔长度占所述手握柄的长度的1/3-1/4。 

优选地，所述手握柄的长度占所述夹具总长度的2/3。 

优选地，所述夹头上设置开孔。 

(三)有益效果 

本实用新型提出的晶片清洗夹具，具有与晶片的夹持接触面积小的特点，使得在清洗过程中夹具对晶片的阻挡面积小，有利于药液流出，从而能够将晶片冲洗干净，并且，本实用新型提出的晶片清洗夹具的手握柄更适合把持，方便冲洗操作。 

附图说明

下面参照附图并结合实例来进一步描述本实用新型。其中： 

图1示出了现有技术的的晶片清洗夹具的俯视图； 

图2示出了本实用新型的晶片清洗夹具的俯视图； 

图3示出了本实用新型的晶片清洗夹具的立体图。 

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。 

图2和图3示出了本实用新型的晶片清洗夹具的示例性结构。如图2和图3所示，根据该实施例，本实用新型的晶片清洗夹具的整体造型分为夹头1、手握柄2以及活动卡头3三部分。 

其中，夹头1对晶片起支撑和夹持作用。夹头1呈菱形，其一个角与手握柄2连接，在与该角相对的第二角的两条边上分别设置有一个卡钩11，设置该夹头1第二角的两条边的外侧厚度大于其内侧厚度，可最大程度减少晶片与夹头的接触面积，其中，该边的内侧指该第二角的内角方向。该卡钩11与夹头1固定连接、一体成型。卡钩11具有朝向晶片的尖端，该尖端与晶片以点接触的方式相抵接，以便夹持晶片。卡钩11的纵向截面为三角形，该两个卡钩11的形状可以相同，也可以不同。另外，夹头1上可以设置开孔，从而进一步减小夹具对晶片的阻挡面积，有利于药液流出，因而能够将晶片冲洗干净。开孔的形状可以各式各样，但为了便于加工和使用，同时考虑到夹头1对晶片起支撑作用，本实施例中是以菱形夹头1的在手握柄延长线上的对角线为中心线，在其两侧形成两个相互对称的三角形孔。 

手握柄2与夹头1连接成一体，为方便制造，加工时手握柄可以与夹头1一体成型。手握柄2的长度可以根据需要进行设计，经研究发现，比较好的取值是手握柄2的长度占夹具总长度的2/3，具有这种长度的手握柄适于把持，方便清洗操作。另外，为了进一步减小夹具对晶片的阻挡面积，以利于药液流出，可以在手握柄2靠近夹头1的一端上设置开孔。本实施例中开孔是沿手握柄的长度方向呈长条状，其长度可以根据需要进行设计，为了便于药液流出，开孔长度占手握柄的长度的1/3-1/4。