[实用新型]一种倾斜式基片架镀膜装置有效
| 申请号： | 201120163872.1 | 申请日： | 2011-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN202131366U | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 逄增伦 | 申请（专利权）人： | 青岛海德曼光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 倾斜 式基片架 镀膜 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种倾斜式基片架镀膜装置，包括真空镀膜室、轨道和活动架，其特征在于，所述活动架自上而下设置有多个横梁，所述横梁上进一步设置有槽托，所述槽托内设置有坡面槽，相邻两个横梁上的所述坡面槽彼此相对，所述横梁、所述坡面槽与所述槽托在制造时一体成型。
2.根据权利要求1所述倾斜式基片架镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜室底部螺栓紧固有轨道，所述活动架的底部设置有轨道轮，所述轨道轮与所述轨道之间滑动连接。
3.根据权利要求1或2所述倾斜式基片架镀膜装置，其特征在于，相邻两个彼此相对的坡面槽用于安置触摸屏，所述触摸屏的两端斜搭在所述坡面槽内。
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