[实用新型]排气装置及其单向排气阀

说明书

技术领域

一种排气装置及排气阀，特别是指一种具有单向排气功能的排气装置及其单向排气阀。

背景技术

于半导体制造产业中，依其制程，大致上可分为晶圆、显影、蚀刻、沉积等多项制程步骤。而于蚀刻步骤中，随着化学药液的使用，多半产生有毒性废气，而所产生的废气将沿着排气管路排出，将其作净化处理后再排放至大气中。

而公知的排气装置，请参照图1及图2所示，其为公知技术排气装置的第一示意图及第二示意图。图中，该排气装置1具有一转动杆体11及一逆止阀体12。该转动杆体11的两端分别可旋转地固定于排气管路的管壁上，该逆止阀体12对应管路的通口。当废气的气流流速不高时，该逆止阀体12密壁该管路通口。当该废气的气流流速偏高时，则气流推抵该逆止阀体12，使该废气能顺利由排气口排出。然而，此种排气装置1的缺点在于由于该转动杆体11作动时相对管壁相对旋转，而于管壁上必然留有一余隙，导致废气可能由此余隙排出，造成泄气污染。此外，此种排气装置1，由于其废气推动该逆止阀体12的压力值为固定值，而无法随需求加以调整，于实际使用上仍有不便的处。

发明内容

本实用新型的主要目的，旨在提供一种排气装置及其单向排气阀，其可用于排放及调控半导体制程的废气，并避免废气从管路管壁泄漏出。

为达上述目的，本实用新型的单向排气阀，其包含一固定杆、一转动杆、一螺杆、一配重块及一逆止件。该固定杆具有一第一端部及一第二端部，该第一端部固定于该排气管路的管壁。该转动杆的一端枢接于该第二端部。该螺杆插设于该转动杆的另一端。该配重块螺设于该螺杆的一端。该逆止件螺设于该螺杆的另一端，该逆止件对应该排气管路的通气管口。

其中，该转动杆的另一端设有一螺孔，该螺杆螺设于该螺孔内。

其中，该单向排气阀更具有一垫圈环片，该垫圈环片环设于该逆止件的一侧。

其中，该固定杆具有一枢接座，该转动杆具有一枢接孔，该枢接座及该枢接孔穿设一螺栓，以枢接该固定杆及该转动杆。

其中，该逆止件为一盘体。

为达上述目的，本实用新型排气装置包含一排气管路；一如权利要求1所述的单向排气阀，设于该排气管路内；及一通风机。该通风机设于该排气管路内。

其中，该排气装置更具有一垫圈环片，该垫圈环片设于该排气管路通气管口的一侧，该垫圈环片对应该逆止件。

附图说明

图1为公知技术排气装置第一示意图；

图2为公知技术排气装置第二示意图；

图3为本实用新型排气装置其单向排气阀第一实施例立体图；

图4为本实用新型排气装置其单向排气阀第一实施例设置示意图；

图5为本实用新型排气装置其单向排气阀第一实施例的第一作图示意图；

图6为本实用新型排气装置其单向排气阀第一实施例第二作动示意图；

图7为本实用新型排气装置其单向排气阀排气示意图；

图8为本实用新型排气装置其单向排气阀的立体示意图。

附图标记说明

1-排气装置；11-转动杆体；12-逆止阀体；2-单向排气阀；21-固定杆；211-第一端部；212-第二端部；213-枢接座；22-转动杆；221-枢接孔；222-螺孔；23-螺杆；231-螺纹；24-配重块；25-逆止件；3-废水槽；4-通风机；5-垫圈环片；6-单向排气阀；61-固定杆；62-转动杆；63-螺杆；64-配重块；65-逆止件；66-垫圈环片；7-排气管路。

具体实施方式

为使审查员能清楚了解本实用新型的内容，谨以下列说明搭配图式，敬请参阅。

请参阅图3及图4所示，其为本实用新型排气装置第一实施例的立体图及设置示意图。图中，该排气装置具有一排气管路7、一单向排气阀2设于该排气管路内及一垫圈环片5。

该单向排气阀2包含一固定杆21、一转动杆22、一螺杆23、一配重块24及一逆止件25。

该固定杆21具有一第一端部211、一第二端部212及一枢接座213。该第一端部固设于一排气管路7的管壁上。该枢接座213则形成于该第二端部212，并呈一ㄇ字型。

该转动杆22具有一枢接孔221及一螺孔222。该枢接孔221形成于该转动杆22的一端并对应该枢接座213，该螺孔222形成于该转动杆22的另一端。该枢接座221及该枢接孔221穿设一螺栓26，以枢接该固定杆21及该转动杆22。

该螺杆23上形成多个螺纹231，并插设于该螺孔222内。