[实用新型]基于MEMS技术的电压力锅压力检测模块有效
| 申请号： | 201120096719.1 | 申请日： | 2011-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN202033147U | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 程浩;熊育信;赵宏;陈立新;陈清浪 | 申请（专利权）人： | 中国船舶重工集团公司第七一五研究所 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;B81B3/00;B81B7/02;A47J27/09 |
| 代理公司： | 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 | 代理人： | 陈继亮 |
| 地址： | 310012 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 mems 技术 压力锅 压力 检测 模块 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于MEMS技术的电压力锅压力检测模块，其特征是：包括壳体(1)、硅橡胶膜片(2)、压环(3)、基板(4)以及旋塞(5)，硅橡胶膜片(2)、压环(3)、基板(4)组成的腔体内充满有硅油(6)，MEMS压力传感器(7)和测温元件(8)电装在基板(4)接触硅油的一侧，信号调理器(9)和信号线(10)电装在基板(4)非接触硅油的一侧，壳体(1)和压环(3)之间通过硅橡胶膜片(2)的弹性变形密封连接。
2.根据权利要求1所述的基于MEMS技术的电压力锅压力检测模块，其特征是：所述的硅橡胶膜片(2)为带有密封圈的薄壁半球形。
3.根据权利要求1所述的基于MEMS技术的电压力锅压力检测模块，其特征是：所述的压环(3)中心轴线两端设置有流线型锥孔。
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