[发明专利]一种片库腔体充氮装置无效
| 申请号： | 201110452429.0 | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN103187230A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 谢均宇 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 片库腔体充氮 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种片库腔体充氮装置，包括：小法兰(2)、光滑放气板(3)、粗糙放气板(4)、三个连接螺柱(5)、大法兰(6)、O型圈(7)，其特征在于：所述的光滑放气板(3)与大法兰(6)通过连接螺柱(5)连接；所述的粗糙放气板(4)固定在小法兰(2)上，中间设置有O型圈；所述的小法兰(2)和大法兰(6)连接；所述的大法兰(6)固定在片库上。
2.如权利要求1所述的一种靶室片库腔体充氮装置，其特征在于：所述的粗糙放气板(4)的表面粗糙度大于12.5μm。
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