[发明专利]用氦气检测多腔容器或多个容器密封性的装置

权利要求书

1.一种用氦气检测多腔容器或多个容器密封性的装置，包括氦质谱检漏仪（1），顺次相连的真空滑阀泵（2）、罗茨泵（3）、高真空挡板阀（4）和集合管（5），及用于密封待测的多腔容器或多个容器且可充放氦气的密封装置，其特征在于：在所述集合管（5）上至少设有三个连接管路（6），每个所述连接管路（6）上设有用于关闭和开启该连接管路（6）的阀FA（7），在该阀FA（7）下方的连接管路（6）上设有与所述氦质谱检漏仪（1）可拆卸连接的接口JA（8），在该接口JA（8）上设有用于关闭和开启该接口JA（8）的阀FB（9），每个所述连接管路（6）的下端设有与待测容器入口可拆卸连接的接口JB（10）。

2.根据权利要求1所述的用氦气检测多腔容器或多个容器密封性的装置，其特征在于：在所述罗茨泵（3）与高真空挡板阀（4）之间连有过渡段（11），在所述高真空挡板阀（4）与集合管（5）之间连有波纹管（12）；所述密封装置包括一气囊（13），所述气囊（13）依次通过阀FC（14）、压缩机（15）和阀FD（16）与氦气罐（17）相连。

3.根据权利要求1所述的用氦气检测多腔容器或多个容器密封性的装置，其特征在于：所述多腔容器为具有五个腔室的板翅式换热器（19），所述集合管（5）上自左至右设有第一连接管路（6）、第二连接管路（6）、第三连接管路（6）、第四连接管路（6）和第五连接管路（6）。

4.一种用氦气检测多腔容器或多个容器密封性的装置，包括用于密封待测的多腔容器或多个容器且可充放氦气的密封装置，其特征在于：还包括顺次相连的真空滑阀泵（2）、罗茨泵（3）、高真空挡板阀（4）、集合管（5）、阀FE（18）和氦质谱检漏仪（1），在所述集合管（5）上设有至少三个连接管路（6），每个所述连接管路（6）上设有用于关闭和开启该连接管路（6）的阀FA（7），在该阀FA（7）下方的连接管路（6）上设有用于充氦的接口JA（8），在该接口JA（8）上设有用于关闭和开启该接口JA（8）的阀FB（9），每个所述连接管路（6）的下端设有与待测容器入口可拆卸连接的接口JB（10）。

5.根据权利要求4所述的用氦气检测多腔容器或多个容器密封性的装置，其特征在于：在所述罗茨泵（3）与高真空挡板阀（4）之间连有过渡段（11），在所述高真空挡板阀（4）与集合管（5）之间连有波纹管（12）；所述密封装置包括一气囊（13），所述气囊（13）依次通过阀FC（14）、压缩机（15）和阀FD（16）与氦气罐（17）相连。

6.根据权利要求5所述的用氦气检测多腔容器或多个容器密封性的装置，其特征在于：所述多腔容器为具有五个腔室的板翅式换热器（19），所述集合管（5）上自左至右设有第一连接管路（6）、第二连接管路（6）、第三连接管路（6）、第四连接管路（6）和第五连接管路（6）。

7.一种使用权利要求6所述的用氦气检测多腔容器或多个容器密封性的装置进行检漏的方法，其特征在于包括以下步骤：

步骤一：进行外漏检测

将五个连接管路（6）的下端接口JB10分别与待测板翅式换热器（19）的五个腔室的入口一一对应密封卡接（或密封螺接），

将阀FE（18）关闭，抽真空完毕后，关闭各连接管路6的阀FA（7），用气囊（13）将板翅换热器（19）密封包住，并在气囊（13）内充填氦气，再开启阀FE（18），然后，依次打开第一连接管路（6）、第二连接管路（6）、……、第五连接管路（6）的阀FA（7），即可以分别检测各相应板翅换热器（19）腔室的外泄漏情况；

步骤二：进行内漏检测

关闭五个连接管路（6）的阀FA（7），将氦气通过第一连接管路（6） 的阀FB（9） 充至板翅换热器（19）的第一腔室内，依次单独打开第二连接管路（6）、……、第五连接管路（6）的阀FA（7），即可检测板翅换热器（19）的第一腔室分别与板翅换热器（19）的第二腔室、第三腔室、第四腔室和第五腔室之间的相互泄漏情况；

将氦气通过第二连接管路（6） 的阀FB（9） 充至板翅换热器（19）的第二腔室内，依次单独打开第三连接管路（6）、第四连接管路（6）、第五连接管路（6）的阀FA（7），即可检测板翅换热器（19）的第二腔室分别与板翅换热器（19）的第三腔室、第四腔室和第五腔室之间的相互泄漏情况；

以此类推，进行板翅换热器19五个腔室之间的相互泄漏情况；

步骤三：氦气回收

气囊（13）内的氦气和板翅换热器（19）腔室内的氦气，通过阀FC（14）、压缩机（15）和阀FD（16）与氦气罐（17）相连，组成氦气回收系统，以实现氦气的多次使用，低碳环保；使用中，适当添加高纯度氦来保持测试浓度的要求。