[发明专利]基于氨基乙烯基硅烷的前体有效
申请号: | 201110404812.9 | 申请日: | 2009-11-12 |
公开(公告)号: | CN102491990A | 公开(公告)日: | 2012-06-13 |
发明(设计)人: | V·沃萨;A·D·约翰逊;萧满超 | 申请(专利权)人: | 气体产品与化学公司 |
主分类号: | C07F7/10 | 分类号: | C07F7/10 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 邹雪梅;林森 |
地址: | 美国宾夕*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 氨基 乙烯基 硅烷 | ||
1.一种具有以下通式的前体:
[RR1N]xSiR3y(R2)z
其中x+y+=4,x=2,y=0以及z=2;R、R1和R3各自选自氢、C1-C10烷烃、C2-C10烯烃或C4-C12芳香基团;R2选自乙烯基、烯丙基或包含乙烯基的其他官能团。
2.权利要求1的前体,选自双(异丙基氨基)二乙烯基硅烷(BIPADVS)、双(异丙基氨基)二烯丙基硅烷、双(叔丁基氨基氨基)二乙烯基硅烷、双(叔丁基氨基氨基)二烯丙基硅烷、双(二乙基氨基)二烯丙基硅烷、双(二甲基氨基)二乙烯基硅烷、双(甲基乙基氨基)二烯丙基硅烷、双(甲基乙基氨基)二乙烯基硅烷、二哌啶基二乙烯基硅烷和二吡咯烷基二乙烯基硅烷。
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