[发明专利]用于透射显微镜和扫描显微镜的铝箔网及其制作方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于透射显微镜和扫描显微镜的铝箔网及其制作方法。

背景技术

1975年以后在中国电子显微镜领域中，金属载网前后研制出了，铜网，镍网，不锈钢网，钼网，钨网；为了在材料学研究中的发展和特殊需要又成功研制出铝网。铝网主要作用是，不与实验分析研究中的其他金属元素相互影响。

目前，中国专利申请(公开号：CN101866803A)公开了一种透射电镜微栅，是最接近的现有技术，其具体公开了所述微栅10包括载体110、碳纳米管支撑体120以及固定体，所述载体110(即铝箔网)材料可以是铜、镍、钼或陶瓷等材料，载体外径为3毫米，载体表面均匀分布尺寸为40微米-120微米的方形第一通孔(由此可以计算外径为3毫米、孔边长120微米时载体孔径介于1目到600目之间)，微栅10厚度为3微米-20微米的圆片装结构(结合图1可以确定载体110厚度应当在微米量级)。可见该专利申请没有公开权利要求1中的铝箔网的厚度为0.01mm-0.05mm的技术特征。日本专利申请(JP2006-244742A)公开了一种用于电子显微镜的金属载网，并具体公开了所述金属载网(即铝箔网)包括支持环11和网12，材料为铜、钼、铝、钛或白金。可见该专利申请没有公开权利要求1中的铝箔网的厚度和孔径。中国专利申请(公开号：CN1589739A)公开了一种用于承载用电子束照射的样本承载器，并具体公开了所述样本承载器材料可以是铜、金、镍或塑料，厚度通常是5～50μm。可见该专利申请没有公开权利要求1中的材料为铝，以及载网的厚度为0.01mm～0.05mm的技术特征，网孔的孔数为1目～600目的技术特征。

因此，迫切需要一种用于透射显微镜和扫描显微镜的不与实验分析研究中的其他金属元素相互影响、网孔清晰、孔壁极为光滑的铝箔网。

发明内容

本发明利用超级紫外线光刻技术，制作出一种用于透射显微镜和扫描显微镜的耐高温的铝箔网。所述铝箔网的厚度为0.01mm～0.05mm，网孔的大小为1目～600目。所述网孔形状为方形、圆形、蜂窝形或条形。所述铝箔网的外径为3mm～3.05mm，孔径可达0.5μm或以上，线径可达20μm或以上。其中，外径：载网总直径为外径；孔径：每个网孔(目)内为孔径；线径：每一个网孔与网孔之间的线为线径。

本发明的另一目的在于提供一种所述铝箔网的制作方法，所述制作方法包括如下步骤：(1)绘图：将铝网制成图纸进行拍照并得到黑白底片；(2)镍箔处理：将铝箔的表面采用普通厨房超强油烟净进行清洗、烘干；(3)涂胶：使用常规的紫外负型光刻胶和负胶稀释剂将烘干后的铝箔采用旋转涂布法进行涂胶；(4)前烘烤：在温度为90～115度下通过对流烘箱对光刻胶后的铝箔进行前烘烤；(5)曝光：采用高压汞灯对前烘烤后的铝箔进行曝光；(6)显影：使用常规的负胶显影剂对曝光后的铝箔进行显影；(7)漂洗：使用常规的负胶清洗剂立即对显影后的铝箔进行漂洗；(8)后烘烤：在温度为150～180度下通过对流烘箱对漂洗后的铝箔进行后烘烤；(9)刻蚀：使用腐蚀液对后烘烤后的铝箔网进行注入刻蚀；和(10)去胶：使用负性去膜剂对刻蚀后的铝箔网进行去胶。

优选地，所述前烘烤的时间为5～20分钟，所述后烘烤的时间为3～10分钟。

优选地，在进行涂胶过程时，控制旋转转速在1000～4500rpm，以使得涂胶厚度不超过1.5微米。

优选地，所述腐蚀液为磷酸或磷酸和酒精的混合液，所述磷酸和酒精的用量分别为800ml和8ml，所述腐蚀液温度为70～120度。

优选地，所述去胶剂的浸泡温度为60～90度，浸泡时间为10～20分钟。

本发明中的用于透射显微镜和扫描显微镜的铝箔网，不与实验分析研究中的其他金属元素相互影响，通过本发明的制作方法得到的铝箔网的网孔清晰、孔壁极为光滑。

附图说明

图1为外径3mm，网孔孔数为600目，网孔形状为方孔的铝箔网示图；

图2为外径3.05mm，网孔孔数为100目，网孔形状为圆孔的铝箔网示图；

图3为外径3mm，网孔孔数为300目，网孔形状为蜂窝孔的铝箔网示图；

图4为外径3.05mm，网孔孔数为1目，网孔形状为条形的铝箔网示图；

图5为通过本发明的制作方法得到的电子显微镜铝箔网。

具体实施方式

为了能进一步了解本发明的结构、特征及其它目的，现结合所附较佳实施例详细说明如下，所说明的较佳实施例仅用于说明本发明的技术方案，并非限定本发明。

实施例1