[发明专利]用于透射显微镜和扫描显微镜的铝箔网及其制作方法

权利要求书

1.一种用于透射显微镜和扫描显微镜的铝箔网，其特征在于，所述铝箔网的厚度为0.01mm～0.05mm，网孔的孔数为1目～600目。

2.如权利要求1所述的铝箔网，其特征在于，所述网孔形状为方形、圆形、蜂窝形或条形。

3.如权利要求1所述的铝箔网，其特征在于，所述铝箔网的外径为3mm～3.05mm。

4.一种如权利要求1～3任一所述铝箔网的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括如下步骤：

(1)绘图：将铝网制成图纸进行拍照并得到黑白底片；

(2)铝箔处理：将铝箔的表面采用普通厨房超强油烟净进行清洗、烘干；

(3)涂胶：使用常规的紫外负型光刻胶和负胶稀释剂将烘干后的铝箔采用旋转涂布法进行涂胶；

(4)前烘烤：在温度为90～115度下通过对流烘箱对光刻胶后的铝箔进行前烘烤；

(5)曝光：采用高压汞灯对前烘烤后的铝箔进行曝光；

(6)显影：使用常规的负胶显影剂对曝光后的铝箔进行显影；

(7)漂洗：使用常规的负胶漂洗剂立即对显影后的铝箔进行漂洗；

(8)后烘烤：在温度为150～180度下通过对流烘箱对漂洗后的 铝箔进行后烘烤；

(9)刻蚀：使用腐蚀液对后烘烤后的铝箔网进行注入刻蚀；和

(10)去胶：使用负胶去膜剂对刻蚀后的铝箔网进行去胶。

5.如权利要求4所述的制作方法，其特征在于，所述前烘烤的时间为5～20分钟，所述后烘烤的时间为3～10分钟。

6.如权利要求4所述的制作方法，其特征在于，在进行涂胶过程时，控制旋转转速在1000～4500rpm，以使得涂胶厚度不超过1.5微米。

7.如权利要求4所述的制作方法，其特征在于，所述腐蚀液为磷酸或磷酸和酒精的混合液。

8.如权利要求7所述的制作方法，其特征在于，所述磷酸和酒精的用量分别为800ml和8ml，磷酸浓度不小于为85％。

9.如权利要求7或8所述的制作方法，其特征在于，所述腐蚀液温度为70～120度。

10.如权利要求4所述的制作方法，其特征在于，所述负胶去膜剂，的浸泡温度为60-90度，浸泡时间为10～20分钟。