[发明专利]共面波导硅基电光调制器无效
| 申请号： | 201110364915.7 | 申请日： | 2011-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN102393572A | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 李运涛;俞育德;余金中 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02F1/025 | 分类号： | G02F1/025 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 波导 电光 调制器 | ||
1.一种共面波导硅基电光调制器，包括：
一输入波导；
一第一分束器，该第一分束器的输入端与输入波导相连接；
一第一调制臂，该第一调制臂的一端与第一分束器输出端连接；
一第二调制臂，该第二调制臂的一端与第一分束器输出端连接；
一硅基光延迟线器件，该硅基光延迟线器件与第一调制臂或第二调制臂耦合；
一第二分束器，该第二分束器的输入端与第一调制臂及第二调制臂的另一端连接；
一输出波导，该输出波导的一端与第二分束器的输出端连接。
2.根据权利要求1所述的共面波导硅基电光调制器，其中所述的第一分束器和第二分束器是多模干涉耦合器、Y分支分束器或直接耦合分束器。
3.根据权利要求1所述的共面波导硅基电光调制器，其中所述的硅基光延迟线器件是硅基微环谐振腔光延迟线器件。
4.根据权利要求1所述的共面波导硅基电光调制器，其中所述的硅基光延迟线器件是硅基级联微环谐振腔光延迟线器件。
5.根据权利要求1所述的共面波导硅基电光调制器，其中所述的硅基光延迟线器件是硅基微盘谐振腔光延迟线器件。
6.根据权利要求1所述的共面波导硅基电光调制器，其中所述的硅基光延迟线器件是硅基级联微盘谐振腔光延迟线器件。
7.根据权利要求1所述的共面波导硅基电光调制器，其中所述的硅基光延迟线器件是硅基光子晶体谐振腔光延迟线器件。
8.根据权利要求1所述的共面波导硅基电光调制器，其中所述的硅基光延迟线器件是硅基法布里-珀罗谐振光延迟线器件。
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