[发明专利]检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于对例如特别是平板显示器用的玻璃基板、半导体基板、印刷电路板等进行检查的检查装置。

背景技术

近年来，在玻璃基板、半导体基板、印刷电路板(以下称作基板)等的制造中，具有用于对基板进行检查等处理的检查装置。检查装置具有用于利用摄像等对基板进行检查处理的处理部、以及用于自外部向处理部输送基板或者自处理部向外部输送基板的输送部。

关于处理部，例如是对基板的表面照射照明光，在利用线扫描摄像机(line sensor camera)接受其反射光而获得整体图像之后，使用显微镜等获得基板上的规定位置的布线图案等图像，然后进行基板的检查。

输送部包括：浮起用板，其在用于输送基板的输送面上具有多个空气孔，并通过自该空气孔吹出空气而使基板浮起；吸盘，其具有用于吸附保持基板的吸附部，并能够沿输送方向移动。输送部通过以吸附部将利用浮起用板而浮起的基板进行吸附保持的状态使吸盘移动，从而进行基板的输送。另外，基板的支承也存在取代浮起用板而使用支承构件的情况，该支承构件利用能够沿输送方向旋转的自由辊来支承基板。

但是，作为上述输送部，公开了在通过基板的大致重心的直线上设置吸附部、并用于吸附支承基板的重心而输送基板的输送装置(例如参照专利文献1)。在该输送装置中，抑制由于基板输送时的基板的重量和输送速度所产生的转矩的作用来输送基板，因此能够稳定地进行基板的输送。

专利文献1：日本特开2007-281285号公报

但是，由于专利文献1所公开的输送装置的吸附部处于基板的重心位置，因此在处理部中进行基板的摄像时，存在吸附部被拍摄进去而使得使用了所获得的基板图像的检查的精度降低这样的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而做成的，其目的在于提供一种在对基板进行摄像时能够减少吸附保持基板的吸附部被拍摄进去的检查装置。

为了解决上述问题并达到目的，本发明的一种检查装置包括：检查部，其用于对检查对象的基板实施规定的处理；以及输送台，其用于载置上述基板而输送该基板，其特征在于，上述输送台包括：支承部件，其至少能够沿输送上述基板的输送方向移动，并用于直接或间接地支承上述基板；多个保持部，其以能够沿与上述输送方向平行地延伸的输送轴移动的方式保持上述基板，并且能够升降；以及驱动部，其用于使上述保持部沿上述输送轴移动；上述检查装置还包括控制部，该控制部在上述保持部位于上述检查部的处理位置的情况下进行使该保持部下降的控制。

本发明的检查装置由于在用于保持基板的吸附部处于线扫描摄像机的摄像区域内的情况下使吸附部与基板分离，因此起到在对基板进行摄像时能够减少吸附部被拍摄进去这样的效果。

附图说明

图1是示意性地表示本发明的实施方式1的平板显示器(FPD)检查装置的结构的俯视图。

图2是示意性地表示本发明的实施方式1的FPD检查装置的结构的侧视图。

图3是表示图1所示的FPD检查装置的A-A剖面的局部剖视图。

图4是表示本发明的实施方式1的FPD检查装置的基板输送的示意图。

图5是表示本发明的实施方式1的FPD检查装置的基板输送的示意图。

图6是表示本发明的实施方式1的FPD检查装置的基板输送的示意图。

图7是表示本发明的实施方式1的FPD检查装置的基板输送的示意图。

图8是表示本实施方式1的FPD检查装置的变形例的示意图。

图9是表示本实施方式1的FPD检查装置的变形例的示意图。

图10是表示本发明的实施方式2的FPD检查装置的基板输送的示意图。

图11是表示本发明的实施方式2的FPD检查装置的基板输送的示意图。

图12是表示本发明的实施方式3的FPD检查装置的基板输送的示意图。

图13是表示本发明的实施方式3的FPD检查装置的基板输送的示意图。

图14是表示本发明的实施方式3的FPD检查装置的基板输送的示意图。

图15是表示本发明的实施方式3的FPD检查装置的基板输送的示意图。

图16是示意性地表示本发明的实施方式4的FPD检查装置的结构的俯视图。

具体实施方式