[发明专利]一种电子扫描显微镜环境磁场的监测方法

权利要求书

1.一种电子扫描显微镜环境磁场的监测方法，利用电子扫描显微镜对一硅片进行扫描，获得所述硅片的线条图形，其特征在于，包括以下步骤：

       在所述线条图形选定其中一段图形的一侧选取多个测量点，并且采集所述测量点的量测数据，在其另一侧采取所述测量点的相对点的量测数据；

       分别计算出所选取的相对应点的所述量测数据之间的第一差值；

       获取计算出的所述第一差值之中的最大差值和最小差值，并计算出所述最大差值和所述最小差值之间的第二差值，将所述第二差值作为测量结果；

       将所述测量结果记录在环境磁场影响控制图中；

       根据每次记录在所述环境影响控制图中的所述测量结果，获得一环境磁场影响的动态监控图；

       根据所述动态监控图，监测扫描式电子显微镜的环境磁场变化，并判定对所述硅片的处理方案。

2.根据权利要求1所述的电子扫描显微镜环境磁场的监测方法，其特征在于，利用扫描时电子显微镜的多点线宽量测模式获取所述量测数据。

3.根据权利要求1所述的电子扫描显微镜环境磁场的监测方法，其特征在于，所述线条图形是一经过曝光和显影之后的光刻胶线条图形。

4.根据权利要求1所述的电子扫描显微镜环境磁场的监测方法，其特征在于，所述线条图形是一刻蚀之后的衬底线条图形。

5.根据权利要求1所述的电子扫描显微镜环境磁场的监测方法，其特征在于，以天为时间单位。

6.根据权利要求1或5所述的电子扫描显微镜环境磁场的监测方法，其特征在于，以七天为一周期，在所述控制图中国绘制出每天的所述测量结果，获得所述环境磁场影响的动态监控图。