[发明专利]一种MEMS可调标准具无效
申请号: | 201110306200.6 | 申请日: | 2011-10-11 |
公开(公告)号: | CN103048781A | 公开(公告)日: | 2013-04-17 |
发明(设计)人: | 吴砺;柏天国;李阳 | 申请(专利权)人: | 福州高意通讯有限公司 |
主分类号: | G02B26/00 | 分类号: | G02B26/00;G02B1/10 |
代理公司: | 福建炼海律师事务所 35215 | 代理人: | 许育辉 |
地址: | 350001 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 mems 可调 标准 | ||
1.一种MEMS可调标准具,包括一标准具腔片和MEMS,其特征在于:所述MEMS纵向可调,其上表面镀高反膜,固定于MEMS固定支架上;所述标准具腔片镀反射膜,固定于腔片固定支架上;所述MEMS固定支架与腔片固定支架之间由两根或两根以上的钢针固定连接;MEMS上表面与标准具腔片的反射面相互平行。
2.如权利要求1所述的一种MEMS可调标准具,其特征在于:所述MEMS固定支架大于腔片固定支架,其外侧设置一侧支架,该侧支架相对于腔片固定支架的位置设有两个或两个以上的调节螺丝;所述调节螺丝穿过侧支架的螺孔,顶在腔片固定支架外周。
3.如权利要求1或2所述的一种MEMS可调标准具,其特征在于:所述钢针与MEMS固定支架为一体结构。
4.如权利要求1或2所述的一种MEMS可调标准具,其特征在于:所述钢针与MEMS固定支架为紧配合连接。
5.如权利要求1或2所述的一种MEMS可调标准具,其特征在于:所述钢针与腔片固定支架通过焊锡焊接固定。
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