[发明专利]用于在其中保持减压的大气的气密容器的制造方法无效
| 申请号: | 201110282909.7 | 申请日: | 2011-09-22 |
| 公开(公告)号: | CN102420085A | 公开(公告)日: | 2012-04-18 |
| 发明(设计)人: | 松本真持;斋藤有弘;伊藤靖浩 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
| 主分类号: | H01J9/26 | 分类号: | H01J9/26;H01L51/56 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 欧阳帆 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 其中 保持 减压 大气 气密 容器 制造 方法 | ||
1.一种排空的气密容器的制造方法,所述排空的气密容器包括一对彼此相对的玻璃基板和布置在所述一对基板之间以便与所述一对基板一起限定其内部减压的大气的框架部件,其中所述制造方法包括如下的步骤:
在所述框架部件与所述一对基板中的一个基板之间布置接合部件,所述接合部件具有负温度系数的粘度、具有比所述一对基板中的所述一个基板和框架部件的软化温度低的软化温度、并且延伸成框架形状,使得所述接合部件接触所述一对基板中的所述一个基板并且接触所述框架部件,从而形成具有由所述框架部件和所述一对基板包围的内侧空间的组装单元;以及
在对所述接合部件加压的同时,加热并且熔化所述接合部件,其中进入热通量分布在所述接合部件的宽度方向上的中心比所述接合部件的宽度的中心更接近于所述组装单元的内侧空间。
2.根据权利要求1所述的制造方法,其中
加热并且熔化所述接合部件的步骤包括沿着延伸所述接合部件的方向扫描局部加热光。
3.根据权利要求2所述的制造方法,其中
所述局部加热光具有关于所述接合部件的宽度方向对称的热通量分布,并且所述热通量分布的中心位于所述容器的内侧空间侧而不是所述接合部件在宽度方向上的中心。
4.根据权利要求2或3所述的制造方法,其中
所述接合部件沿着所述局部加热光的入射面具有放射率分布,使得位于相对于所述接合部件的宽度中心的内侧空间侧的接合部件的平均放射率ε比位于相对于所述接合部件的宽度中心的外侧空间侧的接合部件的平均放射率ε高。
5.根据权利要求2所述的制造方法,其中
由所述局部加热光进行的扫描被执行多次,使得通过多次扫描的总进入热通量分布的中心比所述接合部件在所述宽度方向上的中心更接近于所述组装单元的内侧空间。
6.根据权利要求2所述的制造方法,其中
在内侧空间侧的所述接合部件由包含铁氧化物的玻璃熔料形成。
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