[发明专利]一种制备多晶硅太阳电池绒面的方法及其装置

权利要求书

1.一种制备多晶硅太阳电池绒面的方法，其特征在于，将多晶硅片置于电解槽中，且使多晶硅片为电解时的唯一电流通道，用聚焦激光束对多晶硅片表面进行扫描，同时进行电解，激光束的扫描使多晶硅片表面形成阵列光陷阱结构，电解液对多晶硅片表面产生电化学腐蚀，光整加工表面。

2.根据权利要求1所述的一种制备多晶硅太阳电池绒面的方法，其特征在于，所述激光束为波长在193~1064nm的脉冲或连续激光，脉冲能量为50~200mJ或连续激光平均功率为5~100W。

3.根据权利要求1所述的一种制备多晶硅太阳电池绒面的方法，其特征在于，所述电解液为碱性溶液，其PH值为9～10，浓度为20%~30%。

4.一种制备多晶硅太阳电池绒面的装置一种制备多晶硅太阳电池绒面的装置一种制备多晶硅太阳电池绒面的装置，包括激光器（5）、电解机构（15）和工作台（11），其特征在于，所述电解机构（15）主要由电解槽底座（13）、电解槽盖板（4）、阴极（8）、阳极（12）、阴极接座（3）、阳极接座（2）、工件安装夹具（14）、密封圈（10）、和光学防护镜（7）组成，电解槽底座（13）连接在工作台（11）上；电解槽盖板（4）封盖电解槽底座（13）的上端开口，阴极接座（3）和阳极接座（2）分别固定在电解槽盖板（4）上，阴极（8）、阳极（12）分别与阴极接座（3）、阳极接座（2）连接；用于连接工件上下端的工件安装夹具（14）和密封圈（10）分别连接在电解槽盖板（4）内侧和对应位置的电解槽底座（13）上，使工件将电解槽分隔成槽内电解液互不能流通的两室，所述阴极（8）和阳极（12）各置于一室，工件的背面和待加工面分别设置于阳极（12）和阴极（8）所在室；光学防护镜（7）固定在电解槽底座（13）一侧，激光器（5）置于电解槽底座（13）外侧对应于光学防护镜（7）的位置，聚焦透镜（6）置于光学防护镜（7）与激光器（5）之间的位置上。

5.根据权利要求4所述的一种制备多晶硅太阳电池绒面的装置，其特征在于，所述工件为多晶硅片。

6.根据权利要求4所述的一种制备多晶硅太阳电池绒面的装置，其特征在于，所述工作台（11）可做空间移动。

7.根据权利要求4所述的一种制备多晶硅太阳电池绒面的装置，其特征在于，所述电解槽盖板（4）密封地连接在所述电解槽底座（13）的上端开口，从而形成封闭的电解槽。

8.根据权利要求4或7所述的一种制备多晶硅太阳电池绒面的装置，其特征在于，电解槽盖板（4）对应于所述两室的位置上，各设有一个用于注入电解液和排出气体的通孔。

9.根据权利要求4所述的一种制备多晶硅太阳电池绒面的装置，其特征在于，所述阴极（8）、阳极（12）用铂片制成。

10.根据权利要求4或9所述的一种制备多晶硅太阳电池绒面的装置，其特征在于，所述阴极（8）、阳极（12）分别通过导线与电源的对应极连接，形成外接电源电路，该电路中连接有电压表和电流表。