[发明专利]一种甲基氯硅烷的制备方法

权利要求书

1.一种甲基氯硅烷的制备方法，包括：将CH₃Cl和从直接法生产(CH₃)₂SiCl₂产生的共沸物分离得到的SiCl₄副产物或西门子法生产多晶硅还原工艺中产生的SiCl₄废液汽化后通入填充有铝粉的流化床反应器中，反应得到通式为(CH₃)_nSiCl_4-n的甲基氯硅烷混合产物，其中n为1～4的自然数。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述的铝粉在流化床反应器中的装料系数为0.3～0.9。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述的铝粉在流化床反应器中的装料系数为0.4～0.7。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述的反应温度为250～350℃。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述的反应温度为280～320℃。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述的SiCl₄副产物或所述的SiCl₄废液中的SiCl₄与CH₃Cl的物质的量比为1∶1～1∶5。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述的SiCl₄副产物或所述的SiCl₄废液中的SiCl₄与CH₃Cl的物质的量比为1∶2～1∶4。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述的SiCl₄副产物与CH₃Cl或所述的SiCl₄废液与CH₃Cl共同汽化后通入流化床反应器的总流速为50～300L/h·1kg铝粉。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述的SiCl₄副产物与CH₃Cl或所述的SiCl₄废液与CH₃Cl共同汽化后通入流化床反应器的总流速为100～200L/h·1kg铝粉。