[发明专利]一种用于燃料敏化太阳能电池的透明电极无效
| 申请号： | 201110272602.9 | 申请日： | 2011-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN103000382A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 尹桂林;姜来新;宋佳;李文英;何丹农 | 申请（专利权）人： | 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司 |
| 主分类号： | H01G9/04 | 分类号： | H01G9/04;H01G9/20;H01M14/00;H01L51/44 |
| 代理公司： | 上海东方易知识产权事务所 31121 | 代理人： | 唐莉莎 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 燃料 太阳能电池 透明 电极 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于燃料敏化太阳能电池的透明电极，其特征在于，在常用导电透明电极表面沉积氧化锌纳米薄膜。
2.根据权利要求1所述一种用于燃料敏化太阳能电池的透明电极，其特征在于，所述氧化锌米薄膜的沉积方法为原子层沉积方法。
3.根据权利要求1所述一种用于燃料敏化太阳能电池的透明电极，其特征在于，所述的氧化锌纳米薄膜厚度为5～50nm。
4.根据权利要求1或2或3所述一种用于燃料敏化太阳能电池的透明电极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
A.将导电透明电极基板进行预处理并放入原子层沉积反应室，将反应室真空抽至5hPa～15hPa，将反应室温度加热至100℃～300℃；
B.向沉积室中引入二乙基锌，持续时间为1秒，将氮气或惰性气体通入反应室，以清除未被基底化学吸附的残余气体，持续时间为3秒；
C.向沉积室中引入水蒸汽，持续时间为1秒，沉积得到单层氧化锌，沉积结束后再用高纯氮气清洗沉积室，持续时间为3秒；
D.根据厚度要求，循环步骤B、C，反复沉积以获得一种用于燃料敏化太阳能电池的透明电极。
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