[发明专利]一种微弧氧化制备钛酸锶钡介电薄膜及其方法

权利要求书

1.一种微弧氧化制备钛酸锶钡介电薄膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1) 配置电解液：电解液采用乙酸钡或乙酸锶或两者的混合液，其中乙酸钡溶液的摩尔浓度为0~2.0mol/L，乙酸锶溶液的摩尔浓度为0~1.2mol/L；所述电解液在电磁加热搅拌器上搅拌，溶质完全溶解即可；

(2) 设置微弧氧化电源电参数：采用直流脉冲电源，脉冲波形为方波，模式为恒电流模式；电流密度为10~50A/dm²，脉冲频率为50~250Hz，占空比为60%~95%；处理时间为6~60min；

(3) 微弧氧化：将钛金属基体连接到阳极，浸没于上述电解液中进行微弧氧化，反应过程中控制电解液温度保持在50～60℃之间；反应后，取下钛金属，用蒸馏水冲洗后，再在蒸馏水中浸泡1～2小时，烘干，即可制得所需钛酸锶钡介电薄膜。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤(3)中的钛金属基体在微弧氧化前还需进行如下处理：将钛金属表面用砂纸打磨后，用氢氟酸和硝酸按体积比为1:3混合的混合液进行预处理，然后分别在丙酮和蒸馏水中清洗，吹干备用。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述钛金属基体中钛元素的重量百分比大于95%。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述步骤(3) 微弧氧化过程中电解液温度控制过程为：用温度计实时测量电解液温度，当溶液温度超过50℃后，启动压力泵，将冷水注入恒温槽，同时将热水排出，从而保证电解液温度控制在50～60℃之间。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述步骤(1) 中电解液在电磁加热搅拌器上搅拌时，加热温度控制为60℃，搅拌时间为10~60min。

6.一种微弧氧化制备钛酸锶钡介电薄膜，其特征在于，由权利要求1至5所述的任意一项方法制备而成。