[发明专利]微蚀液的循环再生及金属铜的回收系统无效
| 申请号： | 201110257974.4 | 申请日： | 2011-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN102286747A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 章晓冬;刘江波 | 申请（专利权）人： | 广州市天承化工有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C25C1/12 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人： | 张玲春 |
| 地址： | 510990 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微蚀液 循环 再生 金属 回收 系统 | ||
1.一种微蚀液的循环再生及金属铜的回收系统，包括微蚀工作槽、电解回收及再生槽、PLC控制器，其特征在于：所述电解回收及槽与微蚀工作槽通过耐酸泵浦和管道相连，PLC控制器采用生产线入板信号控制电解回收及再生槽；所述电解回收及再生槽的内部设置有一个或多个圆筒状的电解槽。
2.根据权利要求1所述的微蚀液的循环再生及金属铜的回收系统，其特征在于：所述圆筒状的电解槽包括阳极和阴极，该阳极采用圆筒式设计，以钛为基材，内层涂覆有钌或铱的单一贵金属氧化物涂层；该阴极设置于阳极的圆筒内。
3.根据权利要求2所述的微蚀液的循环再生及金属铜的回收系统，其特征在于：所述阴极采用采用纯钛或钛合金的金属材料。
4.根据权利要求2所述的微蚀液的循环再生及金属铜的回收系统，其特征在于：所述阴极为圆管或圆柱结构，并采用从阴极圆管或圆柱中间穿过圆心插入、固定一块绝缘材料板的方式，或在阴极圆管或圆柱上通过涂覆、固定绝缘层的方式，以确保沉积在圆管或圆柱阴极上的铜层呈两个半圆形，方便后续可以很容易地将沉积的铜层从阴极上剥落下来。
5.根据权利要求2所述的微蚀液的循环再生及金属铜的回收系统，其特征在于：所述圆筒状电解槽，其阴阳极之间净距离在50-100mm之间。
6.根据权利要求2所述的微蚀液的循环再生及金属铜的回收系统，其特征在于：所述阴阳极面积比可以达到1∶2至1∶5。
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