[发明专利]多晶硅生产中还原尾气热能优化回收系统有效
申请号: | 201110254699.0 | 申请日: | 2011-08-31 |
公开(公告)号: | CN102432016A | 公开(公告)日: | 2012-05-02 |
发明(设计)人: | 张高博;黄小亮;陈继;庄恒亚 | 申请(专利权)人: | 上海优华系统集成技术有限公司;广州市优华过程技术有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 北京连城创新知识产权代理有限公司 11254 | 代理人: | 刘伍堂 |
地址: | 200127 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 生产 还原 尾气 热能 优化 回收 系统 | ||
1.一种多晶硅生产中还原尾气热能优化回收系统,主要采用换热系统对还原尾气的热能进行梯级利用,所述的换热系统包括余热锅炉、还原炉炉筒水闪蒸槽、循环水管网、蒸汽管网,其特征在于:200~300℃的还原尾气先通入余热锅炉(E1)的还原尾气进口(1)作为余热锅炉(E1)的蒸发热源来蒸发余热锅炉内的水产生蒸汽送往蒸汽管网,而经余热锅炉换热至130~175℃、压力为0.4~0.5MPaG的还原尾气再进入尾气换热器(E2)与20~75℃的水进行换热,20~75℃的水经尾气换热器(E2)换热为80~115℃的热水后再分两路分别输入余热锅炉的进水口(11)和还原炉炉筒水闪蒸槽(D)的进水口作为产生蒸汽的水源,而经尾气换热器(E2)换热后出来的50~90℃的还原尾气再进入尾气冷却器(E3)与来自循环水管网的30~35℃的循环水进行换热,换热后降温至45~60℃的还原尾气再送往尾气回收装置的进口。
2.如权利要求1所述的一种多晶硅生产中还原尾气热能优化回收系统,其特征在于所述的换热系统为余热锅炉(E1)底部的蒸发器上设有还原尾气进口(1)和还原尾气出口(2),还原尾气出口(2)采用管道依次连接尾气换热器(E2)的壳程、尾气冷却器(E3)的壳程和尾气回收装置,尾气换热器(E2)的管程的出口分两路分别连接还原炉炉筒水闪蒸槽的进水口(12)和余热锅炉的进水口(11),余热锅炉(E1)顶部的蒸汽出口和还原炉炉筒水闪蒸槽(D)顶部的蒸汽出口分别连接蒸汽管网;尾气冷却器(E3)的管程的进出口分别连接循环水管网的出水口和循环水管网的进水口。
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