[发明专利]光致蚀刻剂用显影液及其制备方法与应用

权利要求书

1.一种显影液，包括有机碱性化合物、非离子表面活性剂、式I所示聚乙二醇全氟辛酸酯和水，

式I

所述式I中，n为4-20的整数。

2.根据权利要求1所述的显影液，其特征在于：所述显影液由所述有机碱性化合物、非离子表面活性剂、式I所示聚乙二醇全氟辛酸酯和水组成。

3.根据权利要求1或2所述的显影液，其特征在于：所述式I中，n为12-14的整数；

所述有机碱性化合物选自单甲胺、二甲胺、三甲胺、2-羟基-氢氧三甲胺、四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、三乙胺、单异丙胺、二异丙胺和乙醇胺中的至少一种，优选四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵和四丙基氢氧化铵中的至少一种，更优选四甲基氢氧化铵；

所述非离子表面活性剂选自烷基酚聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚和脂肪酸聚氧乙烯酯中的至少一种，优选脂肪醇聚氧乙烯醚和烷基酚聚氧乙烯醚中的至少一种，更优选脂肪醇聚氧乙烯醚；

所述水为去离子水，所述去离子水的电阻率至少为18兆欧。

3、根据权利要求1-2任一所述的显影液，其特征在于：所述有机碱性化合物的质量占所述显影液总质量的1～15％，优选3～10％；

所述非离子表面活性剂的质量占所述显影液总质量的1～10％，优选2～6％；

所述式I所示聚乙二醇全氟辛酸酯的质量占所述显影液总质量的0.1-5％，优选1-2％；

4.一种制备权利要求1-3任一所述显影液的方法，包括如下步骤：将权利要求1-3任一所述组分混匀，得到所述显影液。

5.权利要求1-3任一所述显影液在感光性树脂的显影方法中的应用。

6.根据权利要求5所述的应用，其特征在于：所述感光性树脂为热塑性酚醛树脂、丙烯酸树脂、顺丁烯二酐的树脂聚合物、顺丁烯二酐半酯的树脂聚合物或聚羟基苯乙烯，优选丙烯酸树脂，更优选下述共聚物a-共聚物f中的任意一种：

所述共聚物a为甲基丙烯酸甲酯与羟基苯、苯乙烯和甲基丙烯酸共聚而得的共聚物，所述共聚物b为甲基丙烯酸甲酯与苯乙烯和丙烯酸共聚而得的共聚物，所述共聚物c为甲基丙烯酸甲酯与苯乙烯和甲基丙烯酸共聚而得的共聚物，所述共聚物d为甲基丙烯酸甲酯与甲基丙烯酸苯甲酯和甲基丙烯酸共聚而得的共聚物，所述共聚物e为甲基丙烯酸苯甲酯与甲基丙烯酸共聚而得的共聚物，所述共聚物f为甲基丙烯酸与甲基丙烯酸苯甲酯和2-羟乙基丙烯酸甲酯共聚而得的共聚物；所述共聚物a-共聚物f的重均分子量均为5000～200000，优选均为8000～60000。