[发明专利]玻璃基板缺陷检查装置以及玻璃基板缺陷检查方法

权利要求书

1.一种玻璃基板缺陷检查装置，具有通过空气使玻璃基板悬浮的悬浮装置、向不存在所述悬浮装置的检查区域搬运所述玻璃基板的搬运装置、以及在所述检查区域内对所述玻璃基板进行摄像并进行检查的光学式检查装置，该玻璃基板缺陷检查装置的特征在于，

具有降低单元，该降低单元降低所述检查区域内的所述玻璃基板搬运方向的端部的跳起导致的位移量。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板缺陷检查装置，其特征在于，

所述降低单元具有位移量测定单元和移动单元，该位移量测定单元测定所述检查区域内的所述玻璃基板的所述位移量；该移动单元基于所述位移量测定单元的检测结果，使进行所述摄像的摄像单元移动。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板缺陷检查装置，其特征在于，

所述位移量测定单元是非接触式激光位移仪。

4.根据权利要求1或2所述的玻璃基板缺陷检查装置，其特征在于，

预先设定所述检查区域内的所述玻璃基板的搬运速度的速度模式，基于所述预先设定的所述速度模式检查所述玻璃基板。

5.根据权利要求1至3任一项中所述的玻璃基板缺陷检查装置，其特征在于，

所述光学式检查装置检查所述玻璃基板内的气泡、所述玻璃基板表面存在的损伤的至少一种。

6.根据权利要求5所述的玻璃基板缺陷检查装置，其特征在于，

所述光学式检查装置在所述搬运装置的下部设有对所述玻璃基板进行照明的照明单元，在所述搬运装置的上部设有所述摄像单元。

7.一种玻璃基板缺陷检查方法，通过空气产生悬浮力使玻璃基板悬浮，并向不存在所述悬浮力的检查区域搬运，在所述检查区域内对所述玻璃基板进行摄像并进行检查，该玻璃基板缺陷检查方法的特征在于，

降低所述检查区域内的所述玻璃基板搬运方向的端部的跳起导致的位移量，进行所述检查。

8.根据权利要求7所述的玻璃基板缺陷检查方法，其特征在于，

所述降低如下进行：测定所述检查区域内的所述玻璃基板的所述位移量，基于所述位移量测定结果，使进行所述摄像的摄像单元移动。

9.根据权利要求7或8所述的玻璃基板缺陷检查方法，其特征在于，

预先设定所述检查区域内的所述玻璃基板的搬运速度的加速度，基于所述预先设定的所述加速度检查所述玻璃基板。

10.根据权利要求7或8所述的玻璃基板缺陷检查方法，其特征在于，

检查所述玻璃基板内的气泡、所述玻璃基板表面存在的损伤的至少一种。