[发明专利]图像测量装置和图像测量方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种图像测量装置和图像测量方法。

背景技术

传统地，已知一种图像测量装置，其通过CCD(电荷耦合器件)照相机等捕捉工件的测量位置的图像并且在捕捉的图像上执行边缘检测、图案匹配等(例如，参见JPH8-247719)。

边缘检测是一种例如通过基于如图11所示的由操作者设置的边缘检测工具T获得捕捉的图像中包括的测量目标图形的边缘信息(位置坐标等)以及通过测量如图12中所示的测量目标图形的位置、宽度、高度等来确定工件是否是所期望的工件等的技术。

此外，图案匹配是一种通过将在捕捉的图像中包括的测量目标图形与事先注册的模板图像相比较、通过例如测量工件的位置像差、角度像差等来确定工件是否是所期望的工件等的技术。

然而，传统图像测量装置是困难的，这是因为需要通过操作者手动地将边缘检测工具T设置到多个位置以便实现边缘检测。

此外，传统图像测量装置难以实现图案匹配，这是因为需要根据测量目标图形的形状来注册模板图像。此外，当测量目标图形的方向、尺寸等与模板图像的方向、尺寸等不同时，存在不方便使得处理需要更多时间并且不能执行图案匹配。

发明内容

因此，本发明的主要目的在于提供一种对于操作者不困难的并且其中可以迅速并稳妥地执行测量的图像测量装置和图像测量方法。

为了实现上述目的中的至少一个，反映本发明的一个方面的图像测量装置包括：拾取测量对象的图像的图像捕捉单元，输入由图像捕捉单元捕捉的测量对象的图像的输入单元，将由输入单元输入的图像二进制化的二进制化单元，识别被二进制化单元二进制化的图像中的图形信息并且检测图形信息的轮廓的轮廓检测单元，基于由轮廓检测单元检测的轮廓来检测图形信息的角的角检测单元，在包括由角检测单元检测的角的轮廓线上分别设置边缘检测工具的设置单元以及通过设置单元设置的边缘检测工具测量图形信息的测量单元。

进一步，为了实现上述目的中的至少一个，一种通过反映本发明的一个方面的图像测量装置执行的图像测量方法包括：输入由图像捕捉单元捕捉的测量对象的图像，二进制化由输入单元输入的图像，识别由二进制化单元二进制化的图像中的图形信息，检测图形信息的轮廓，基于由轮廓检测单元检测的轮廓来检测图形信息的角，在包括由角检测单元检测的角的轮廓线上设置边缘检测工具以及通过由设置单元设置的边缘检测工具测量图形信息。

附图说明

从下文中给出的具体描述和附图，将更加充分地理解本发明的以上和其它目的，优点和特征，所述附图仅以图示方式给出，并且因此不旨在作为对本发明的限制的定义，并且其中：

图1为示出了根据本发明的图像测量装置的整体结构的外部示图；

图2为示出了图1的图像测量装置的控制结构的框图；

图3为要被图1的图像测量装置输入的原始图像的示例；

图4为其中原始图像被二进制化的二进制化图像的示例；

图5为其中在二进制化图像中检测到轮廓的图像的示例；

图6为其中在图形信息中检测到角的图像的示例；

图7为其中设置边缘检测工具的图像的示例；

图8为示出了设置的边缘检测工具要测量的图形信息中的测量位置的示意图；

图9为示出了根据本发明的图像测量处理的流程图；

图10为示出了图形信息的修改的示意图；

图11为用于阐述传统技术的示意图；以及

图12为用于阐述传统技术的示意图。

具体实施方式

以下，将参照附图来具体描述根据本发明的图像测量装置。

图像测量装置100是一种这样的装置，其捕捉放置于测量工作台13上的工件(测量对象)12的图像，并且通过处理该图像以测量图形信息的值(诸如线宽等)来检测图像中预定图形(图形信息)的边缘。

如图1和2所示，图像测量装置100包括装置主体10、显示部分20、操作部分30、控制部分40等。

装置主体10包括用于放置工件12的测量工作台13，用于捕捉工件12的图像的图像捕捉单元17等。

测量工作台13安装在台面11上并且通过Y轴驱动机构(在图中未示出)在Y轴方向上驱动。在台面11的边缘的中心部分，分别固定向上延伸的支撑臂14和15，并且固定X轴导向装置16从而接合支撑臂14和15的上端部分。通过X轴导向装置16支撑图像捕捉单元17。