[发明专利]具有减小的噪声的数字射线照相成像阵列

说明书

技术领域

本发明总的涉及数字射线照相成像，更具体地，涉及使用用于图案噪声的校正的电路的成像阵列(例如，像素)。

背景技术

数字射线照相(DR)成像面板使用以行乘列的矩阵布置的各个传感器的阵列从闪烁介质采集图像数据，其中每个传感器提供图像数据的单个像素。对于这些成像装置，氢化非晶硅(a-Si:H)通常用来形成每个像素所需的薄膜晶体管(TFT)开关和光电二极管，尽管可以替代性地使用诸如激光再结晶硅的多晶半导体和单晶硅晶体管开关的多晶半导体。

传统的固态图像传感器已经使用含有光屏蔽像素的校正柱来提供用于校正目的的暗偏移值。例如，US4293877和US6034406A教导了在固态成像阵列中使用光屏蔽像素来获得用于图像传感器的行中的像素的暗偏移的校正。这两个专利在此都通过参引的方式全部并入。

发明内容

实施例涉及具有校正电路或校正像素的成像阵列。校正电路或校正像素的实施例可以在平板显示器上和/或散布或集成在光敏像素之间。例如，校正像素的实施例能够提高阵列两端的噪声减小。

示例性实施例提供射线照相感测阵列，其包括基底、基本沿第一方向定向的扫描线、以及基本沿第二方向定向的数据线。该阵列能够进一步包括至少一个电容性元件，该至少一个电容性元件被构造为布置在基底上方的数据线和扫描线之间的校正像素。电容性元件可以包括金属-绝缘体-金属型电容器和/或金属-绝缘体-半导体型电容器。该阵列可以进一步包括具有第一、第二和第三端子的薄膜晶体管。第一端子可以包括源极，第二端子可以包括漏极，以及第三端子可以包括栅极。栅极可以电连接于扫描线，并且源极和漏极端子两者都可以电连接于数据线。该阵列还可以进一步包括具有第一、第二和第三端子的薄膜晶体管，其中第一端子可以包括源极，第二端子可以包括漏极，以及第三端子可以包括栅极。然而，栅极可以电连接于扫描线，源极可以电连接于电容器的端子，以及漏极端子可以电连接于偏压线。

另外的实施例提供光感测阵列，其包括形成在基底上方的多个光敏像素，以行和列布置，形成光敏区域。每个光敏像素可以包括：沿基底的行方向定向的扫描线；沿基底的列方向定向的数据线；偏压线；具有第一、第二和第三端子的薄膜晶体管开关，第一端子包括源极、第二端子包括电连接于数据线的漏极，以及第三端子包括电连接于扫描线的栅极；以及具有至少第一和第二端子的光敏元件，第一端子电连接于偏压线并且第二端子电连接于薄膜晶体管开关的源极。该阵列还可包括多个校正像素，其中每个校正像素可以包括沿行方向定向的扫描线、沿基底的列方向定向的数据线、以及布置在数据线和扫描线之间的电容器。

本发明提供一种射线照相感测阵列，包括：

闪烁器，其构造成响应于照射的接收而发光；

形成在基底上方的多个光敏像素，其设置成形成光耦合于所述闪烁器的光敏区域，其中每个光敏像素包括：

沿所述阵列的第一方向定向的扫描线；

沿所述阵列的第二方向定向的数据线；

偏压线；

切换元件，其包括第一电极、连接于所述数据线的第二电极、以及连接于所述扫描线的控制电极；以及

光敏元件，其包括至少第一和第二电极，第一电极电连接于所述偏压线，且该第二电极电连接于晶体管的第一电极；以及

多个校正像素，其中每个校正像素包括：

扫描线；

数据线；

耦合在该数据线和该扫描线之间的电容性元件。

优选地，在本发明的射线照相感测阵列中中，所述多个校正像素沿所述阵列的至少第一方向布置，或者所述多个校正像素沿所述基底的至少第二方向布置，其中所述第一方向是水平或扫描方向，并且所述第二方向是所述阵列的竖直或列方向。

优选地，在本发明的射线照相感测阵列中，所述多个校正像素在所述多个光敏像素外部。

优选地，在本发明的射线照相感测阵列中，所述光敏像素的列占据所述第一方向上的第一距离，并且所述多个校正像素的列占据所述第一方向上的第二距离，其中所述第二距离小于所述第一距离。

优选地，在本发明的射线照相感测阵列中，所述第二距离小于所述第一距离的85％，其中所述第二距离小于所述第一距离的50％，其中所述第二距离小于所述第一距离的25％，或者其中所述第二距离小于所述第一距离的10％。

优选地，在本发明的射线照相感测阵列中，所述多个校正像素的列散布在所述光敏像素的列之间，其中为每个读取集成电路(ROIC)提供散布的校正像素。