[发明专利]真空镀膜装置的改良结构

权利要求书

1.一种真空镀膜装置的改良结构，包括真空沉积腔室(1)以及位于该真空沉积腔室内的托架(2)和靶材(3)，其特征在于：该托架(2)通过第一转轴(4)和轴承转动固定于该真空沉积腔室顶部，而该第一转轴(4)由驱动马达控制连带该托架(2)转动，该靶材(3)位于该托架下方，通过加热机构控制该靶材加热蒸发。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜装置的改良结构，其特征在于：该托架(2)呈穹顶状结构，该托架内侧向下设有多个用于固定工件(100)的挂钩，该托架顶部中心通过该第一转轴(4)和轴承转动固定于该真空沉积腔室(1)顶部。

3.根据权利要求1或2所述的真空镀膜装置的改良结构，其特征在于：该托架(2)与该真空沉积腔室(1)顶部之间至少设有一个能对该托架上的工件加热的预加热机构。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜装置的改良结构，其特征在于：该预加热机构为电热丝加热体(5)或红外加热体。

5.根据权利要求1或2所述的真空镀膜装置的改良结构，其特征在于：该加热机构为安装于该真空沉积腔室内并可放置该靶材(3)的槽状金属加热体，该槽状金属加热体两侧设有一对电极，该对电极另一端引出于该真空沉积腔室(1)后，分别与电源变压器(73)之次级绕组引出端连接。

6.根据权利要求5所述的真空镀膜装置的改良结构，其特征在于：该靶材(3)还通过转动机构控制能相对该托架(2)转动，该转动机构为通过轴承(61)固定于该真空沉积腔室(1)内侧底部的第二转轴(60)，该第二转轴(60)上端与绝缘连接杆(52)一端固定，并且该绝缘连接杆(52)与该第二转轴(60)呈直角连接，该绝缘连接杆(52)另一端固定该槽状金属加热体(50)，该对电极另一端沿该绝缘连接杆(52)，并通过该第二转轴(60)内的两通孔(51)引出，该第二转轴(60)下端伸出该真空沉积腔室(1)外后固定滚轮(63)，并通过传送带(64)和马达(66)控制转动。

7.根据权利要求1所述真空镀膜装置的改良结构，其特征在于：该真空沉积腔室侧部设有可装卸镀膜工件的操作门。