[发明专利]两个连接配对件低温压力烧结连接的方法及其制造的系统有效
申请号: | 201110147129.1 | 申请日: | 2011-05-27 |
公开(公告)号: | CN102315138A | 公开(公告)日: | 2012-01-11 |
发明(设计)人: | 约瑟夫·菲尔藤巴赫尔;卡尔海因茨·奥古斯丁;乌尔里希·扎格鲍姆;克里斯蒂安·约布尔;汤姆斯·施托克迈尔 | 申请(专利权)人: | 赛米控电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L23/492 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 车文;樊卫民 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 两个 连接 配对 低温 压力 烧结 方法 及其 制造 系统 | ||
1.用于制造具有第一连接配对件(10)和第二连接配对件(50)的系统的方法,所述第一连接配对件(10)和所述第二连接配对件(50)借助低温压力烧结连接而相互材料配合地连接,其中,所述连接配对件(10、50)各自具有要与相应另外那个连接配对件相连接的接触面(16、56),其中,在所述接触面(16、56)之间布置有烧结金属层(34),
其特征在于以下顺次进行的步骤,其中,步骤d)和f)能够依次实施或者选择性地实施:
a)准备具有第一接触面(16)的第一连接配对件(10);
b)将由如下烧结膏(40)构成的层涂覆到所述第一接触面(16)上,所述烧结膏由烧结金属颗粒和溶剂构成;
c)对所述烧结膏(30)加温(22),并且在形成烧结层(32)的情况下,排出溶剂;
d)将液体(40)涂覆在所述烧结层(32)上;
e)以如下方式布置所述第二连接配对件(50),即,所述第二连接配对件(50)的第二接触面(56)放置于所述烧结层(32)上;
f)将粘附剂(60、62)布置在所述烧结层(32)及所述第二连接配对件(50)的边缘区域中,同时,所述粘附剂(60、62)与所述第一连接配对件(10)相接触,用以使所述连接配对件(10、50)彼此固定;
g)进一步对所述系统加温和加压,用以构造在所述连接配对件(10、50)之间的材料配合的低温压力烧结连接,其中,所述烧结层(32)转变为均质的烧结金属层(34)。
2.按照权利要求1所述的方法,其中,所述液体(40)设计为极性液体,优选为诸如甘油的短链的多元醇。
3.按照权利要求1所述的方法,其中,所述粘附剂(60、62)设计为硅酮,优选为热交联式的硅酮。
4.按照权利要求1所述的方法,其中,将所述粘附剂(60、62)涂覆在所述边缘区域中至少两个部位上,或者环绕式地涂覆。
5.按照权利要求1所述的方法,其中,直接在实施步骤b)前,对所述第一接触面(16)和直接围绕所述第一接触面(16)的区域施以超声波(20)。
6.按照权利要求1所述的方法,其中,直接在实施步骤b)前或者实施步骤b)期间,对所述第一接触面(16)和直接围绕所述第一接触面(16)的区域施以超声波(20)。
7.系统,根据按前述权利要求之一所述的方法构造而成,所述系统具有第一连接配对件(10)和第二连接配对件(50),所述第一连接配对件(10)和所述第二连接配对件(50)借助低温压力烧结连接而彼此材料配合地连接,其中,所述连接配对件(10、50)各自具有要与相应另外那个连接配对件相连接的接触面(16、56),其中,在这些所述接触面(16、56)之间布置有烧结金属(34),并且所述烧结金属(34)构成为均质的层,并且仅具有直径最大为10μm的砂眼。
8.按照权利要求7所述的系统,其中,在所述烧结金属层(34)的边缘区域中设置有粘附剂(60、62),所述粘附剂(60、62)与两个所述连接配对件(10、50)保持接触。
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