[发明专利]两个连接配对件低温压力烧结连接的方法及其制造的系统有效

专利信息
申请号: 201110147129.1 申请日: 2011-05-27
公开(公告)号: CN102315138A 公开(公告)日: 2012-01-11
发明(设计)人: 约瑟夫·菲尔藤巴赫尔;卡尔海因茨·奥古斯丁;乌尔里希·扎格鲍姆;克里斯蒂安·约布尔;汤姆斯·施托克迈尔 申请(专利权)人: 赛米控电子股份有限公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60;H01L23/492
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 车文;樊卫民
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 两个 连接 配对 低温 压力 烧结 方法 及其 制造 系统
【权利要求书】:

1.用于制造具有第一连接配对件(10)和第二连接配对件(50)的系统的方法,所述第一连接配对件(10)和所述第二连接配对件(50)借助低温压力烧结连接而相互材料配合地连接,其中,所述连接配对件(10、50)各自具有要与相应另外那个连接配对件相连接的接触面(16、56),其中,在所述接触面(16、56)之间布置有烧结金属层(34),

其特征在于以下顺次进行的步骤,其中,步骤d)和f)能够依次实施或者选择性地实施:

a)准备具有第一接触面(16)的第一连接配对件(10);

b)将由如下烧结膏(40)构成的层涂覆到所述第一接触面(16)上,所述烧结膏由烧结金属颗粒和溶剂构成;

c)对所述烧结膏(30)加温(22),并且在形成烧结层(32)的情况下,排出溶剂;

d)将液体(40)涂覆在所述烧结层(32)上;

e)以如下方式布置所述第二连接配对件(50),即,所述第二连接配对件(50)的第二接触面(56)放置于所述烧结层(32)上;

f)将粘附剂(60、62)布置在所述烧结层(32)及所述第二连接配对件(50)的边缘区域中,同时,所述粘附剂(60、62)与所述第一连接配对件(10)相接触,用以使所述连接配对件(10、50)彼此固定;

g)进一步对所述系统加温和加压,用以构造在所述连接配对件(10、50)之间的材料配合的低温压力烧结连接,其中,所述烧结层(32)转变为均质的烧结金属层(34)。

2.按照权利要求1所述的方法,其中,所述液体(40)设计为极性液体,优选为诸如甘油的短链的多元醇。

3.按照权利要求1所述的方法,其中,所述粘附剂(60、62)设计为硅酮,优选为热交联式的硅酮。

4.按照权利要求1所述的方法,其中,将所述粘附剂(60、62)涂覆在所述边缘区域中至少两个部位上,或者环绕式地涂覆。

5.按照权利要求1所述的方法,其中,直接在实施步骤b)前,对所述第一接触面(16)和直接围绕所述第一接触面(16)的区域施以超声波(20)。

6.按照权利要求1所述的方法,其中,直接在实施步骤b)前或者实施步骤b)期间,对所述第一接触面(16)和直接围绕所述第一接触面(16)的区域施以超声波(20)。

7.系统,根据按前述权利要求之一所述的方法构造而成,所述系统具有第一连接配对件(10)和第二连接配对件(50),所述第一连接配对件(10)和所述第二连接配对件(50)借助低温压力烧结连接而彼此材料配合地连接,其中,所述连接配对件(10、50)各自具有要与相应另外那个连接配对件相连接的接触面(16、56),其中,在这些所述接触面(16、56)之间布置有烧结金属(34),并且所述烧结金属(34)构成为均质的层,并且仅具有直径最大为10μm的砂眼。

8.按照权利要求7所述的系统,其中,在所述烧结金属层(34)的边缘区域中设置有粘附剂(60、62),所述粘附剂(60、62)与两个所述连接配对件(10、50)保持接触。

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