[发明专利]化学机械抛光设备

权利要求书

1.一种化学机械抛光设备，其特征在于，包括：

多个化学机械抛光机，所述多个化学机械抛光机分别用于抛光晶圆；

机械手，所述机械手用于搬运晶圆；和

过渡装置，所述过渡装置用于放置晶圆，

其中所述多个化学机械抛光机和所述过渡装置围绕所述机械手布置以便所述机械手将所述过渡装置上的未抛光晶圆搬运到所述化学机械抛光机上且将抛光后的晶圆从所述化学机械抛光机搬运到所述过渡装置上且在所述多个化学机械抛光机之间搬运晶圆。

2.根据权利要求1所述的化学机械抛光设备，其特征在于，所述机械手为单臂机械手、双臂机械手和四臂机械手中的一种，其中所述机械手包括基座和安装在所述基座上的手臂。

3.根据权利要求2所述的化学机械抛光设备，其特征在于，每个所述化学机械抛光机包括：

工作平台；

抛光盘，所述抛光盘安装在所述工作平台的上表面上；

修整器和抛光液输送器，所述修整器和所述抛光液输送器分别安装在所述工作平台的上表面上且邻近所述抛光盘；

抛光头支架，所述抛光头支架安装在所述工作平台的上表面上；

装卸平台，所述装卸平台安装在所述工作平台的上表面上且位于所述工作平台的邻近所述基座的一侧；和

抛光头，所述抛光头可旋转且在所述抛光盘和所述装卸平台之间可移动地安装在所述抛光头支架上。

4.根据权利要求3所述的化学机械抛光设备，其特征在于，所述多个化学机械抛光机的多个装卸平台的工作面在同一水平面上。

5.根据权利要求3或4所述的化学机械抛光设备，其特征在于，所述多个化学机械抛光机的多个装卸平台与所述基座之间的距离相同。

6.根据权利要求5所述的化学机械抛光设备，其特征在于，每个所述化学机械抛光机的装卸平台的工作面为圆形，其中所述多个装卸平台的多个所述工作面的圆心分布在以所述基座的中心线上的点为圆心的圆周上。

7.根据权利要求3所述的化学机械抛光设备，其特征在于，所述过渡装置为过渡平台。

8.根据权利要求7所述的化学机械抛光设备，其特征在于，所述过渡平台包括第一平台和第二平台，所述第一平台具有用于放置未抛光晶圆的第一放置面且所述第二平台具有用于放置抛光后的晶圆的第二放置面，其中所述第一放置面、所述第二放置面和所述多个装卸平台的多个工作面在同一水平面上，且所述第一平台、所述第二平台和所述多个装卸平台与所述基座之间的距离相同。

9.根据权利要求8所述的化学机械抛光设备，其特征在于，所述第一放置面和所述第二放置面均为圆形，每个所述化学机械抛光机的装卸平台的工作面为圆形，其中所述第一放置面的圆心、所述第二放置面的圆心和所述多个装卸平台的多个所述工作面的圆心分布在以所述基座的中心线上的点为圆心的圆周上。

10.根据权利要求9所述的化学机械抛光设备，其特征在于，所述装卸平台为三个，所述机械手为四臂机械手，所述四臂机械手具有基座和可旋转地安装在所述基座上且成十字形布置的四个手臂，所述四个手臂沿所述基座的径向方向可伸缩且沿基座的轴向可移动，其中两个所述装卸平台沿所述圆周的径向相对，另一个所述装卸平台与所述第一平台沿所述圆周的径向相对。