[发明专利]固态成像装置和相机有效
| 申请号: | 201110118902.1 | 申请日: | 2008-11-28 | 
| 公开(公告)号: | CN102201423A | 公开(公告)日: | 2011-09-28 | 
| 发明(设计)人: | 工藤义治 | 申请(专利权)人: | 索尼株式会社 | 
| 主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 | 
| 代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;吴孟秋 | 
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 固态 成像 装置 相机 | ||
1.一种固态成像装置,包括:
排列的多个像素,
每个所述像素均包括:光电转换元件、包括转移晶体管的像素晶体管和浮动扩散区,其中
所述转移晶体管的转移栅极被形成为在所述浮动扩散区侧的沟道宽度大于在所述光电转换元件侧的沟道宽度,
其中,在所述浮动扩散区中的所述高杂质浓度区用作接触区。
2.根据权利要求1所述的固态成像装置,其中
所述转移栅极被排列在所述光电转换元件的一个角部上,从而具有其顶部面向所述浮动扩散区侧的凸起形状。
3.根据权利要求2所述的固态成像装置,其中
所述浮动扩散区接触所述转移栅极的部分被形成为高杂质浓度区,以及
所述浮动扩散区在所述高浓度区周围以及在所述高杂质浓度区和器件隔离区之间的其他部分被形成为杂质浓度低于所述高浓度区的区域。
4.根据权利要求1所述的固态成像装置,其中
设置多个所述光电转换元件,并且所述浮动扩散区为所述多个光电转换元件所共有。
5.根据权利要求4所述的固态成像装置,其中
所述浮动扩散区为作为所述多个光电转换元件的多个光电转换元件所共有。
6.根据权利要求1所述的固态成像装置,其中
除了所述转移晶体管外的所述像素晶体管以组为单位为多个光电转换元件和被配置为读出从所述多个光电转换元件输出的信号电荷的多个转移晶体管所共有。
7.根据权利要求6所述的固态成像装置,其中
所述多个光电转换元件以正交坐标阵列形式水平地和垂直地排列。
8.根据权利要求6所述的固态成像装置,其中
所述多个光电转换元件以正交坐标阵列的形式排列,其中,所述正交坐标阵列的两条正交轴分别相对于水平方向和垂直方向倾斜。
9.根据权利要求1所述的固态成像装置,其中
所述浮动扩散区接触所述转移栅极的部分被形成为高杂质浓度区,以及
所述浮动扩散区在所述高浓度区周围以及在所述高杂质浓度区和器件隔离区之间的其他部分被形成为杂质浓度低于所述高浓度区的区域。
10.根据权利要求9所述的固态成像装置,其中
在所述浮动扩散区中的所述高杂质浓度区用作接触区。
11.根据权利要求1所述的固态成像装置,其中
除了所述转移晶体管外的所述像素晶体管以组为单位为多个光电转换元件和被配置为读出从所述多个光电转换元件输出的信号电荷的多个转移晶体管所共有。
12.根据权利要求1所述的固态成像装置,其中
所述多个光电转换元件以正交坐标阵列的形式水平地以及垂直地排列。
13.根据权利要求1所述的固态成像装置,其中
所述多个光电转换元件以正交坐标阵列的形式排列,其中,所述正交坐标阵列的两条正交轴分别相对于水平方向和垂直方向倾斜。
14.一种相机,包括:
固态成像装置;
光学系统,被配置为将入射光导向包括在所述固态成像装置中的光电转换元件;以及
信号处理电路,被配置为对从所述固态成像装置输出的信号进行处理;
所述固态成像装置包括:
排列的多个像素,每个所述像素均包括光电转换元件、包括转移晶体管的像素晶体管和浮动扩散区,其中
所述转移晶体管的转移栅极被形成为在所述浮动扩散区侧的沟道宽度大于在所述光电转换元件侧的沟道宽度,
其中,在所述浮动扩散区的所述高杂质浓度区用作接触区。
15.根据权利要求14所述的相机,其中,
所述转移栅极被排列在所述光电转换元件的一个角部上,从而具有其顶部面向所述浮动扩散区侧的凸起形状。
16.根据权利要求15所述的相机,其中
所述浮动扩散区接触所述转移栅极的部分被形成为高杂质浓度区,以及
所述浮动扩散区在所述高浓度区周围并且在所述高杂质浓度区和器件隔离区之间的其他部分被形成为杂质浓度低于所述高浓度区的区域。
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