[发明专利]多槽负载锁定室及其操作方法

权利要求书

1.一种负载锁定室，其包含：

一室本体，其内定义有一第一基板传递空腔；

一基板支架，其设置于该第一基板传递空腔中，并可在一第一高度及一第二高度间移动；以及

多个凹槽，其形成于该第一基板传递空腔的天花板或地板至少其中一个内，且配置用以当该基板支架位于该第二高度时，容纳至少一部分的该基板支架。

2.如权利要求1所述的负载锁定室，其中该等凹槽是形成于该第一基板传递室的该天花板中。

3.如权利要求2所述的负载锁定室，更包含：

一第二基板传递空腔，其形成于该室本体中并位于该第一基板传递空腔下方，该第二基板传递空腔内具有一基板支架，其可在一第一高度及一第二高度间移动；及

多个凹槽，其形成于该第二基板传递空腔的天花板中，且配置用以当该基板支架位于该第二高度时，容纳至少一部分的该基板支架。

4.如权利要求3所述的负载锁定室，更包含：

一加热空腔，其形成于该室本体中。

5.如权利要求4所述的负载锁定室，其中该加热室是配置于该第一及第二基板传递空腔之间。

6.如权利要求4所述的负载锁定室，其中该加热室非配置于该第一及第二基板传递空腔之间。

7.如权利要求1所述的负载锁定室，更包含：

一加热空腔，其形成于该室本体中。

8.如权利要求7所述的负载锁定室，更包含：

多个通路，其适以在介于该加热空腔及该第一传递空腔之间的该本体中循环一热传导流体。

9.一种基板处理系统，其包含：

一基板传递室；

一或多个真空处理室，其连接至该传递室；

一负载锁定室，其具有一连接至该传递室的本体；以及

一机械手臂，其配置于该传递室中，且用以在该负载锁定室及该一或多个真空处理室之间传递基板；

其中该负载锁定室的该本体更包含：

一第一冷却传递空腔，其具有多个基板储存狭槽；

一第二冷却传递空腔，其具有多个基板储存狭槽；及

一加热空腔。