[发明专利]具有发光二极管阵列的曝光装置无效
申请号: | 201110117174.2 | 申请日: | 2011-04-28 |
公开(公告)号: | CN102236266A | 公开(公告)日: | 2011-11-09 |
发明(设计)人: | 柯克·A·米德麦斯;托德·J·哈洛克;詹姆斯·E·斯沃普;加里·A·祖布里基 | 申请(专利权)人: | 戴马士股份公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;F21V8/00;F21V19/00;F21V29/00;F21Y101/02 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 王敏杰 |
地址: | 美国康涅狄格*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 发光二极管 阵列 曝光 装置 | ||
1.一种用于固化感光组合物的发光装置,其特征在于,包括一集光器,其基本上能够让电磁光谱的的紫外和/或可见光带的光透过;所述的集光器具有一长和一宽;所述集光器具有一沿其长边的一光输入区域,以及一个沿其长边并与所述该光输入区域间隔一定距离的一光输出区域;多个光导,每个光导具有一光输入端和一光输出端;多个发光二极管,一发光二极管与一光导的光输入端并列,并能够使得入射光与该光导的该光输入端并列;所述的每一个光导的该光输出端在该光输入区域沿着该激光器的长边邻接于该集光器的长边。
2.根据权利要求1所述的发光装置,其特征在于,所述多个发光二极管成一线性阵列并彼此间隔,并且沿该集光器的长边设置。
3.根据权利要求1所述的发光装置,其特征在于,该多个发光二极管成多个线性阵列并彼此间隔,并且沿该集光器的长边设置。
4.根据权利要求3所述的发光装置,其特征在于,该多个发光二极管成多个线性阵列并彼此间隔,并且沿该集光器的长边设置,其中该每一个线性阵列与该集光器的距离不同。
5.根据权利要求3所述的发光装置,其特征在于,该多个发光二极管成一第一线性阵列和一个第二线性阵列,所述第一线性阵列距离该集光器的第一距离与所述第二线性排列距离该集光器的第二距离不相等。
6.根据权利要求1所述的发光装置,其特征在于,进一步包括一或多个散热器,靠近该发光二极管设置,并能够传导来自于远离所述集光器的该发光二极管的热量。
7.根据权利要求1所述的发光装置,其特征在于,该发光二极管能够发射一种或多种多长的紫外光。
8.根据权利要求1所述的发光装置,其特征在于,该发光二极管能够发射一种或多种多长的可见光。
9.根据权利要求1所述的发光装置,其特征在于,该发光二极管能够发射波长为200nm到800nm范围的光。
10.根据权利要求1所述的发光装置,其特征在于,该发光二极管能够发射波长为250nm到450nm范围的光。
11.根据权利要求1所述的发光装置,其特征在于,该集光器包括一杆,其具有圆形、正方形、六边形或椭圆形切面。
12.根据权利要求1所述的发光装置,其特征在于,该光导包括一杆,其具有圆形、正方形、六边形或椭圆形切面。
13.根据权利要求1所述的发光装置,其特征在于,该集光器包括一杆,其具有一半圆形切面。
14.根据权利要求1所述的发光装置,其特征在于,进一步包括一第二集光器,其实质上能够让电磁光谱的紫外光和/或可见光带的光透过,所述的第二集光器具有一长和一宽;所述第二集光器具有一沿其长边的光输入区域和一沿其长边的光输出区域,所述的光输出区域在与该光输入区域间隔一定距离的位置,设置所述第二集光器使得该第二集光器的光输入区域沿着该集光器的该光输出区域的该长边设置。
15.根据权利要求1所述的发光装置,其特征在于,所述的光导具有一成渐窄的圆锥形的切面,并具有一宽锥部以及一窄锥部,且其中该宽锥部在该光导的光输出端,该光导邻接该集光器的光输入区域。
16.根据权利要求1所述的发光装置,其特征在于,选择该发光二极管,并且该光导沿该集光器的该光输入区域设置,使得沿着该集光器的该光输出区域的光输出强度沿着光输出区域所产生的变化达到约25%或更少。
17.根据权利要求1所述的发光装置,其特征在于,选择该发光二极管,并且该光导沿该集光器的该光输入区域设置,使得沿着该集光器的该光输出区域的光输出强度沿着光输出区域所产生的变化达到约5%或更少。
18.根据权利要求1所述的发光装置,其特征在于,该光导的该光输出端沿着该集光器的该光输入区域设置,使得该光导的光输出端相隔开的距离在该集光器的端部比在集光器的中部更近。
19.一种曝光感光组合物的方法,其特征在于,包括:
步骤1:提供一种用于固化感光组合物的发光装置,包括一集光器,其实质上能够让电磁光谱的紫外光和/或可见光带的光透过,所述集光器具有一长和一宽;所述集光器具有一沿其长边的光输入区域,和一沿其长边的光输出区域并与该光输入区域间隔一定的距离;多个光导,每个光导具有一个光输入端和一个光输出端;多个发光二极管,一发光二极管与一光导的光输入端并列,并能够向该光导的该光输入端发射并列的光;每个所述光导的该光输出端,沿所述光导的长边在该光输入带邻接该集光器;
步骤2:将一种感光组合物放置在基板上;以及
步骤3:通过将由该集光器的该光输出区域发出的在电磁光谱的紫外和/或可见光带的光直接照射在该感光组合物上,使感光组合物进行曝光。
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