[发明专利]金属掩膜板剥离装置

说明书

技术领域

本发明属于金属掩膜板制作与金属掩膜板应用领域，具体涉及一种金属掩膜板剥离装置。

背景技术

电铸法是一种高精度的金属掩膜板制作技术，其原理是在芯模板上通过电化学材料生长的方法而制备一层金属薄板，即电铸金属掩膜板。此后，需要将所形成的电铸金属掩膜板从该芯模板上分离下来，并进行后续工艺处理并形成最终的产品。由于电铸金属掩膜板是在芯模板上生长出来的，从而在二者之间存在一层结合力，传统的分离设备和方法均为利用人工来进行分离。

在电铸金属掩膜板精度较低且厚度较大的情况下，可以采用传统上的手工剥离方法。但是，随着技术的进步和工业要求的不断提高，电铸金属掩膜板的厚度越来越薄，且精度越来越高，传统的手工分离方法就会导致如下的缺点：

1、无法分离厚度较薄的电铸金属掩膜板。例如，在电铸金属掩膜板的尺寸达到30微米以下时，手工分离很容易导致金属掩膜板产生永久变形，从而导致所述电铸金属掩膜板无法使用。当电铸金属掩膜板的尺寸进一步变薄时，电铸金属掩膜板甚至不能进行手工握持，极小的握持力也容易导致承压的部分出现永久的变形。

2、传统手工分离质量不稳定。传统的手工分离工艺为人工操作。分离的质量好坏与工人的工作熟练程度存在密切的关联性，这就容易导致产品质量的较大波动。

发明内容

本发明旨在解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此，本发明需要提供一种金属掩膜板剥离装置，所述金属掩膜板剥离装置可实现对电铸金属掩膜板的自动剥离，以提高金属掩膜板剥离的效率和金属掩膜板的质量。可选地，该金属掩膜板剥离装置可以降低金属掩膜板的制造成本。

此外，本发明还需要提供一种金属掩膜板剥离方法，所述金属掩膜板剥离方法可以提高金属掩膜板剥离的效率、提高所述金属掩膜板的质量以及降低所述金属掩膜板的制造成本。

根据本发明的一方面，提供了一种金属掩膜板剥离装置，包括：基座；第一滑板，所述第一滑板沿所述基座的纵向可移动地设置在所述基座上；第二滑板，所述第二滑板竖向可移动地设置在所述基座上；固定板，所述固定板安装在所述第二滑板的下端，用于固定从所述芯模板上分离的金属掩膜板的自由端；以及导引单元，所述导引单元设置在所述基座上，用于可旋转地导引从芯模板上剥离的金属掩膜板。

根据本发明的金属掩膜板剥离装置，可以提高工业自动化程度，同时降低工人的劳动强度。进一步地，可以实现对金属掩膜板的自动剥离，从而特别适于高精度金属掩膜板的剥离，从而可以提高所述金属掩膜板的质量。

另外，根据本发明实施例的金属掩膜板剥离装置可具有如下附加的技术特征：

根据本发明的一个实施例，所述导引单元包括：滚轮支座，所述滚轮支座设置在所述基座上；以及导引滚轮，所述导引滚轮可旋转地设置在所述滚轮支座上，且将所述预定的压紧力施加至所述金属掩膜板上。

根据本发明的一个实施例，所述导引滚轮具有预定的半径，且所述预定的半径落入10mm至100mm之间，从而可实现对金属掩膜板的自动剥离，以提高金属掩膜板剥离的效率和金属掩膜板的质量。

根据本发明的一个实施例，所述金属掩膜板剥离装置进一步包括：竖向基板，所述竖向基板安装在所述基座上；以及第二导轨，所述第二导轨分别安装在所述竖向基板上用于导引所述第二滑板沿竖向移动。

根据本发明的一个实施例，所述金属掩膜板剥离装置进一步包括：横梁，所述横梁沿所述基座的横向设置在所述竖向基板之间；以及支撑杆，所述支撑杆沿竖向设置在所述横梁上，且与所述第二滑板相连，用于拉动所述第二滑板沿竖向移动。

根据本发明的一个实施例，所述金属掩膜板剥离装置进一步包括：第一驱动装置，所述第一驱动装置设置在所述支撑杆上，且通过所述支撑杆与所述第二滑板相连，用于驱动所述第二滑板沿竖向移动。所述第一驱动装置通过所述支撑杆驱动所述第二滑板沿竖向移动，从而拉动从所述芯模板上分离的金属掩膜板的自由端沿竖向移动。

根据本发明的一个实施例，所述第一驱动装置包括气缸、液压缸或电机。

根据本发明的一个实施例，所述的金属掩膜板剥离装置进一步包括：第三导轨，所述第三导轨安装在所述竖向基板上。

根据本发明的一个实施例，所述的金属掩膜板剥离装置进一步包括：第二驱动装置，所述第二驱动装置用于驱动所述导引滚轮沿着所述第三导轨可移动，所述第二驱动装置控制使得所述导引滚轮将所述预定的压紧力施加至所述金属掩膜板上，从而提高所述金属掩膜板的质量。

根据本发明的一个实施例，所述第二驱动装置为气缸、液压缸或电机。