[发明专利]金属掩膜板剥离装置

权利要求书

1.一种金属掩膜板剥离装置，其特征在于，包括：

基座；

第一滑板，所述第一滑板沿所述基座的纵向可移动地设置在所述基座上；

第二滑板，所述第二滑板沿竖向可移动地设置在所述基座上；

固定板，所述固定板安装在所述第二滑板的下端，用于固定从所述芯模板上分离的金属掩膜板的自由端；

导引单元，所述导引单元设置在所述基座上，将预定的压紧力施加至所述金属掩膜板上且导引从芯模板上剥离的金属掩膜板。

2.根据权利要求1所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，所述导引单元包括：

滚轮支座，所述滚轮支座设置在所述基座上；

导引滚轮，所述导引滚轮可旋转地设置在所述滚轮支座上，且将所述预定的压紧力施加至所述金属掩膜板上。

3.根据权利要求2所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，所述导引滚轮具有预定的半径，且所述预定的半径落入10mm至100mm之间。

4.根据权利要求1所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，进一步包括：

竖向基板，所述竖向基板安装在所述基座上；

第二导轨，所述第二导轨分别安装在所述竖向基板上用于导引所述第二滑板沿竖向移动。

5.根据权利要求4所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，进一步包括：

横梁，所述横梁沿所述基座的横向设置在所述竖向基板之间；

支撑杆，所述支撑杆沿竖向设置在所述横梁上，且与所述第二滑板相连用于拉动所述第二滑板沿竖向移动。

6.根据权利要求5所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，进一步包括：

第一驱动装置，所述第一驱动装置设置在所述支撑杆上，且通过所述支撑杆与所述第二滑板相连，用于驱动所述第二滑板沿竖向移动。

7.根据权利要求6所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，所述第一驱动装置包括气缸、液压缸或电机。

8.根据权利要求4所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，进一步包括：

第三导轨，所述第三导轨安装在所述竖向基板上。

9.根据权利要求8所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，进一步包括：

第二驱动装置，所述第二驱动装置用于驱动所述导引滚轮沿着所述第三导轨可移动，所述第二驱动装置控制使得所述导引滚轮将所述预定的压紧力施加至所述金属掩膜板上。

10.根据权利要求9所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，所述第二驱动装置为气缸、液压缸或电机。

11.根据权利要求1所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，进一步包括：

第一导轨，所述第一导轨安装在所述基座上用于导引所述第一滑板沿所述纵向移动。

12.根据权利要求1所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，进一步包括：

两个压条，所述两个压条分别沿所述纵向设置在所述第一滑板上且在横向上彼此间隔开，用于分别压住放置到所述第一滑板上的形成有金属掩膜板的芯模板。

13.根据权利要求12所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，进一步包括：

压紧件，所述压紧件分别设置在所述两个压条上，用于将所述两个压条的端部压紧在所述第一滑板上。

14.根据权利要求4所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，所述固定板的、远离第二导轨的一侧形成有挂钩，用于挂住被剥离下来的金属掩膜板的自由端。