[发明专利]托盘式基板输送系统、成膜方法和电子装置的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及使用托盘输送基板的托盘式基板输送系统，特别是涉及在进行减压下的成膜等处理的基板处理装置中输送基板所使用的系统。此外，本发明涉及使用这样的基板处理装置的成膜方法、电子装置的制造方法。

另外，所谓“电子装置”，是指利用电子技术的所有装置，例如液晶显示器和等离子显示器等各种显示用元件、太阳能电池等。

背景技术

在各种电子装置的制造过程中，需要对被处理物(以下称为基板)实施加热处理、成膜处理等表面处理。

例如，在液晶显示器中，需要在玻璃制的基板的板面(不是端面的面)进行形成透明电极的处理等。因为用于这样的处理的基板处理装置在规定的气氛下处理基板，所以具有构成为能够通过真空排气而减压或向内部导入规定的气体的腔室。而且，因为需要连续地进行不同的处理，或从大气压逐渐地降低压力等，所以形成具有多个腔室的结构。

图4是表示作为以往的有代表性的基板处理技术的一个例子，用于立起地输送基板的立式输送在线(in-line)式基板处理装置的概略机构的图。

立式输送在线式基板处理装置是在一条直线上纵向设有加载互锁真空室408和多个处理室409的结构，以贯穿加载互锁真空室408和多个处理室409的方式设有用于输送基板402的输送机构。在各室之间设有闸阀404。

基板402以被载置在托盘(或也称为第一托盘)406上的状态由输送机构依次输送到各室，例如进行成膜等处理。各室中的一个室是在搬入、搬出基板402时向大气开放的加载互锁真空室。

在进行立式输送的在线式基板处理装置中，存在被保持在托盘上的基板由于输送时的振动而引起大的变形，导致基板破损和脱落的问题。特别是在处理G6代(1500[mml×1800[mm])尺寸以上的玻璃基板时，基板本身的重量变重，以及随着近年来显示面板的薄型化要求基板的厚度也变薄，所以输送时变形的程度也较大，显著地出现基板的破损、脱落这样的问题。

在解决上述的问题时，作为进行立式输送的在线式基板处理装置中的输送用托盘，在专利文献1中公开有如下的输送用托盘的结构，该输送用托盘在基板的处理面上具有利用使用了柔软的纤维材料的支承销支承基板的机构。

此外，在专利文献2中公开有如下的结构，即，在输送用托盘下部设有用于吸收输送基板时的冲击的机构，相对于大型基板而言抑制基板的破损。

专利文献1：日本特开2007-204824号公报

专利文献2：日本特开2007-262539号公报

如上所述，以往的在线式基板处理装置的托盘为以下的机构，即，安装嵌入有玻璃基板的方形的托盘，仅通过嵌入基板而保持该基板的机构。因而，托盘的基板嵌入空间只考虑了不对基板的外形尺寸加压就能够把持基板程度的余量。因此，将基板移动载置到托盘上的机构(机器人等)要求精度非常高的基板移动载置的动作。

除此之外，随着基板的大型化发展，对于G6代(1800[mml×1500[mm]×0.07[mm])尺寸的基板，基板的重量接近于5kg，将基板移动载置到基板处理装置的托盘上时的机构要求非常高的精度，并且大型化且要求高装载重量，因此价格非常高。

此外，在线式基板处理装置中，将基板嵌入托盘中而进行输送，但是，为了缩短基板处理时间，输送速度也要加快。除此之外，因为基板重量大，所以惯性也大，有可能产生在输送中基板自托盘位移，以及基板破损、脱落，因此寻求其对应措施。

发明内容

本发明是鉴于上述的问题而提出的，其目的在于，即使在移动载置基板时将基板向托盘移动载置的基板移动载置机构的精度低的情况下，也能够始终将基板相对于托盘稳定地保持，抑制在输送基板时基板自托盘偏移、破损、脱落的产生。

本发明的第一技术方案是使用托盘输送基板的托盘式基板输送系统，其特征在于，包括：第一托盘，能够装载上述基板；加压机构，在上述基板被装载在上述第一托盘上时通过对该基板的端面施加压力而将该基板保持在上述第一托盘上；第二托盘，上述第一托盘相对于该第二托盘能够装卸；输送机构，在从水平地配置被装载在上述第一托盘上的基板的状态立起该基板的状态下，输送安装有上述第一托盘的上述第二托盘。