[发明专利]干扰抑制负载控制装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种安装于对加工对象物体一边施加负载一边进行加工的加工装置（例如，研磨装置、超声波熔敷装置、焊接机）的干扰抑制负载控制装置。

背景技术

干扰抑制负载控制装置安装于对加工对象物体一边施加负载一边进行加工的加工装置（例如，研磨装置、超声波熔敷装置、焊接机），通过消除加工装置侧的干扰因素（例如电动机的振动）的影响而对加工对象物体持续施加目标负载值，从而实现加工精度的提高。例如，在专利文献1中公开了一种装置，其具有作为使加工工具（研削轮）上下运动的按压移动单元的线性电动机、和作为弹性地支撑加工工具（研削轮）的缓冲器的气缸装置，基于供应至线性电动机的电流的检测结果而控制线性电动机。

对此，本申请人正在开发一种干扰抑制负载控制装置，其搭载了通过利用气缸装置和线性电动机使同一可动部移动而对加工对象物体施加负载的所谓线性电动机并用气缸。在该干扰抑制负载控制装置中，气缸装置对加工对象物体施加目标负载值附近比较大的负载，线性电动机施加用于消除加工装置侧的干扰因素的影响的比较小的负载，通过将基于线性电动机并用气缸的目标负载值信号和实测负载值信号的差分信号而生成的同一负载附加指示信号发送至气缸装置和线性电动机，从而控制气缸装置和线性电动机的输出负载。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-66761号公报

发明内容

（发明要解决的问题）

但是，通过本发明人之后的研究，发现如果将同一负载附加指示信号发送至气缸装置和线性电动机，则产生如下的问题。即，气缸装置和线性电动机对同一负载附加指示信号分别以全力反应，但是两者的反应速度完全不同（气缸装置反应较慢，线性电动机较快），因此从线性电动机并用气缸输出的实测负载值不能良好地追随目标负载值，从而对于干扰的反应性较低。并且，由于对线性电动机施加低频率频带的直流成分的信号电压，因此线性电动机容易发热，由于该发热持续直到气缸装置对负载附加指示信号发生反应，因此存在对周围温度带来恶劣影响而不能进行精密加工的危险。

本发明的目的在于，基于以上的问题意识，提供一种干扰抑制负载控制装置，其能够使从线性电动机并用气缸输出的实测负载值良好地追随目标负载值而提高对于干扰的反应性，同时能够抑制线性电动机的发热。

（解决技术问题的技术方案）

本发明人着眼于气缸装置对低频率频带的负载附加指示信号反应较快（对高频率频带的负载附加指示信号反应差），线性电动机对高频率频带的负载附加指示信号反应较快（对低频率频带的负载附加指示信号反应差）这一点，得到如下结论而完成本发明：如果从分别的控制系统对气缸装置发送低频率频带的负载附加指示信号，并且对线性电动机发送高频率频带的负载附加指示信号，那么气缸装置和线性电动机快速反应各自的负载附加指示信号，因此能够使从线性电动机并用气缸输出的实测负载值良好地追随目标负载值而提高对于干扰的反应性，同时能够抑制线性电动机的发热。

即，本发明的干扰抑制负载控制装置，其特征在于具有：线性电动机并用气缸，具有对同一负载附加对象物体附加比较大的负载的气缸装置、和附加比较小的负载的线性电动机；以及线性电动机并用气缸负载控制部，基于所述线性电动机并用气缸的目标负载值信号和实测负载值信号的差分信号，控制所述气缸装置和线性电动机的输出负载值；所述线性电动机并用气缸负载控制部具有：气缸装置负载控制部，从所述差分信号取出对于所述气缸装置的目标负载值信号的追随特性良好的低频率频带，基于该低频率差分信号，将气缸装置用最适合负载附加指示信号发送至所述气缸装置；以及线性电动机负载控制部，从所述差分信号取出对于所述线性电动机的目标负载值信号的追随特性良好的高频率频带，基于该高频率差分信号，将所述线性电动机用最适合负载附加指示信号发送至所述线性电动机。

本发明的干扰抑制负载控制装置，在其一实施方式中，所述气缸装置负载控制部基于由式（1）规定的控制标准，将气缸装置用最适合负载附加指示信号发送至所述气缸装置，所述线性电动机负载控制部基于由式（2）规定的控制标准，将线性电动机用最适合负载附加指示信号发送至所述线性电动机。

[数1]