[发明专利]加速度传感器

权利要求书

1.一种加速度传感器，具备传感器部，

该传感器部包括：

重物部，一体地形成有在一面上开口的凹部和除了上述凹部以外的实心部；

一对梁部，转动自如地支撑上述重物部以使上述凹部和上述实心部沿着转动方向排列；

可动电极，在与凹部开口的上述一面不同的另一面上横跨上述凹部和上述实心部设置；

第1固定电极，配设在与上述可动电极的上述凹部侧对置的位置；以及

第2固定电极，配设在与可动电极的上述实心部侧对置的位置，

上述加速度传感器根据伴随着以连结一对上述梁部的直线为转动轴的上述重物部的转动的、上述可动电极与上述固定电极之间的静电电容的变化，来检测加速度，

其特征在于，

将上述梁部向上述凹部侧错开配置，以使从上述重物部的重心位置向上述转动轴引下的垂线与上述可动电极的表面所成的角度为大致45度。

2.如权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，

在上述实心部上设置在一面上开口的另外的凹部，在上述另外的凹部中埋设有由金属材料构成的辅助重物部。

3.如权利要求2所述的加速度传感器，其特征在于，

上述辅助重物部由比重比形成重物部的材料高的金属材料构成。

4.如权利要求2或3所述的加速度传感器，其特征在于，

上述辅助重物部的重量与构成上述凹部的外壁部的构造体的重量大致相同。

5.如权利要求1~4中任一项所述的加速度传感器，其特征在于，

检测施加在上述重物部上的第1方向的加速度、和与第1方向正交的第2方向的加速度。

6.如权利要求1～5中任一项所述的加速度传感器，其特征在于，

上述传感器部在同一个芯片上形成有多个。

7.如权利要求6所述的加速度传感器，其特征在于，

上述传感器部在同一个芯片上形成有两个，一个传感器部相对于另一个传感器部在同一平面中旋转180度而配置。

8.如权利要求7所述的加速度传感器，其特征在于，

两个上述传感器部邻接配置。

9.如权利要求1～6中任一项所述的加速度传感器，其特征在于，

具有：内包上述重物部的框部；和形成于框部并与各上述固定电极电连接的一对检测电极，在各上述检测电极之间、以及各上述检测电极与上述框部之间、以及各上述检测电极与上述重物部之间设有间隙。

10.如权利要求1～9中任一项所述的加速度传感器，其特征在于，

在上述各上述固定电极的与上述可动电极的对置面、或上述可动电极的与各上述固定电极的对置面上形成有突起部。

11.如权利要求10所述的加速度传感器，其特征在于，

上述突起部由硅或氧化硅膜形成。

12.如权利要求10所述的加速度传感器，其特征在于，

上述突起部的表层由碳材料形成。

13.如权利要求1～12中任一项所述的加速度传感器，其特征在于，

具有与上述重物部的与上述固定电极对置的一侧相反侧的面隔开规定的间隔配置的固定板，在上述固定板的与重物部对置的面上，设有用来防止重物部的附着的附着防止膜。

14.如权利要求13所述的加速度传感器，其特征在于，

上述附着防止膜由与上述固定电极相同的材料形成。

15.如权利要求13或14所述的加速度传感器，其特征在于，

通过使上述固定电极与可动电极之间产生吸引力，来检测第1及第2固定电极与可动电极之间的静电电容的变化。