[发明专利]气氛置换装置

权利要求书

1.一种气氛置换装置(40)，该气氛置换装置(40)利用净化气体净化FOUP型容器(13)，该气氛置换装置(40)的特征在于，

该气氛置换装置(40)具备：

非喷嘴型净化板(41)，该非喷嘴型净化板(41)设计成从流出面(50)流出层流的净化气体；以及

净化板驱动机构(51、52、53)，该净化板驱动机构(51、52、53)使所述净化板(41)在待机位置与工作位置之间移动，

在净化期间内，所述净化板(41)被置于所述工作位置，并以面对所述容器(13)的敞开面(161)的姿势使层流的净化气体朝所述敞开面(161)的内部流出来净化所述容器(13)。

2.根据权利要求1所述的气氛置换装置，其特征在于，

所述净化板(41)在所述工作位置配置成使层流的净化气体朝所述敞开面(161)的中央流出。

3.根据权利要求1所述的气氛置换装置，其特征在于，

所述FOUP型容器(13)是收纳基板(15)的容器。

4.根据权利要求2所述的气氛置换装置，其特征在于，

所述基板(15)是晶片(15)。

5.根据权利要求1所述的气氛置换装置，其特征在于，

所述气氛置换装置与装载通道装置(2)兼容。

6.根据权利要求1所述的气氛置换装置，其特征在于，

所述净化气体是氮气。

7.一种气氛置换装置，其特征在于，

所述净化板(41)具有比所述容器(13)的所述敞开面(161)小的面积。

8.根据权利要求1所述的气氛置换装置，其特征在于，

所述净化板(41)具备抑制所述净化气体的喷出力的喷出抑制元件(49)。

9.根据权利要求8所述的气氛置换装置，其特征在于，

所述喷出抑制元件(49)由多孔质材料构成。

10.根据权利要求1所述的气氛置换装置，其特征在于，

所述气氛置换装置具备：

开闭自如的门(12)，该门(12)形成为能够在敞开时利用输送机器人(4)来进行朝所述FOUP型容器(13)的存取；以及

门驱动机构(60-63、56)，该门驱动机构(60-63、56)使所述门(12)在X方向及Y方向上移动。

11.根据权利要求10所述的气氛置换装置，其特征在于，

所述X方向是水平方向，所述Y方向是垂直方向。

12.根据权利要求1所述的气氛置换装置，其特征在于，

所述气氛装置具备：

开闭自如的门(12)，该门(12)形成为能够在敞开时利用输送机器人(4)来进行朝所述FOUP型容器(13)的存取；

配置于所述门(12)周缘的内壁(45)；以及

高清洁度空气通路(121)，该高清洁度空气通路(121)通过在所述门(12)与所述内壁(45)之间形成的间隙。

13.根据权利要求12所述的气氛置换装置，其特征在于，

所述气氛装置具备：

设置于所述内壁(45)的迷宫式结构的内壁密封罩(67a、67b)；以及

设置于所述门的迷宫式结构的门密封罩(67a、67b)，

利用所述内壁密封罩(67a、67b)与所述门密封罩(67a、67b)将所述间隙非接触地密封。

14.根据权利要求12所述的气氛置换装置，其特征在于，

所述气氛装置具备：

设置于所述内壁(45)的迷宫式结构的内壁密封罩(67a、67b)；

设置于所述门的迷宫式结构的门密封罩(67a、67b)；以及

使所述门在水平方向上移动的门驱动机构(60-63)，

根据所述门的水平方向的位置能够调整所述内壁密封罩(67a、67b)与所述门密封罩之间的密封程度，从而能够调整所述间隙。