[发明专利]微机械结构

权利要求书

1.微机械结构(1)、尤其是加速度传感器，包括衬底(2)、相对于该衬底(2)可运动的感振质量(3)和至少一个固定地与该衬底(2)连接的锚定元件(4)，其中，所述感振质量(3)借助所述锚定元件(4)固定在所述衬底(2)上并且在所述感振质量(3)与所述锚定元件(4)之间设有至少一个弹簧元件(5)，其特征在于，所述锚定元件(4)具有至少一个止挡元件(6，6’)用以与所述感振质量(3)的至少一个配对止挡元件(7，7’)配合作用。

2.根据权利要求1所述的微机械结构(1)，其特征在于，所述止挡元件(6，6’)和所述配对止挡元件(7，7’)沿着和/或垂直于所述微机械结构(1)的感测方向(100)相对置地设置。

3.根据以上权利要求中任一项所述的微机械结构(1)，其特征在于，所述止挡元件(6，6’)构造为所述锚定元件(4)的隆起和/或所述配对止挡元件(7，7’)构造为所述感振质量(3)的隆起。

4.根据以上权利要求中任一项所述的微机械结构(1)，其特征在于，所述止挡元件(6，6’)和/或所述配对止挡元件(7，7’)部分弹性地并且优选L形地构成。

5.根据以上权利要求中任一项所述的微机械结构(1)，其特征在于，所述锚定元件(4)设置在所述微机械结构(1)的中心区域中。

6.根据以上权利要求中任一项所述的微机械结构(1)，其特征在于，所述微机械结构(1)具有固定电极(8)用以与所述感振质量(3)的配对电极(9)配合作用，其中，所述固定电极(8)和所述配对电极(9)优选构造为垂直于所述感测方向(100)相互交错的梳形电极。

7.根据以上权利要求中任一项所述的以及尤其是根据权利要求1前序部分所述的微机械结构(1)，其特征在于，所述微机械结构(1)具有固定电极(8)用以与所述感振质量(3)的配对电极(9)配合作用，其中，所述感振质量(3)具有至少一个另外的止挡元件(10)和至少一个另外的配对止挡元件(11)并且所述另外的配对止挡元件(11)固定地与固定电极(8)连接。

8.根据以上权利要求中任一项所述的微机械结构(1)，其特征在于，所述另外的止挡元件(10)和/或所述另外的配对止挡元件(11)优选弹性地且特别优选L形地构成。

9.根据以上权利要求中任一项所述的微机械结构(1)，其特征在于，所述另外的配对止挡元件(11)包括固定电极(8)和/或另外的锚定元件(12)，其中，所述另外的锚定元件(12)优选设置用于将所述固定电极(8)固定在所述衬底(2)上。

10.根据以上权利要求中任一项所述的微机械结构(1)，其特征在于，所述另外的止挡元件(10)基本上平行于所述固定电极(8)和所述配对电极(9)延伸并且沿着所述感测方向(100)尤其是设置在至少一个固定电极(8)与所述另外的锚定元件(12)之间。