[发明专利]具有减小的寄生引发的误差的传感器装置

权利要求书

1.一种装置，包括：

传感器元件，所述传感器元件具有第一驱动节点和第一感测节点， 其中，当在所述第一驱动节点施加驱动信号时，在所述第一驱动节点 和所述第一感测节点之间存在第一寄生电流；和

电容网络，所述电容网络具有与电压源连接的第一输入和与所述 第一感测节点连接的第一输出，当在所述第一输入处施加相位与所述 第一驱动信号相反的第二驱动信号时，所述第一电容网络基本上抵消 所述第一寄生电流。

2.根据权利要求1所述的装置，其中：

所述电容网络是第一电容网络；

所述传感器元件包括第二驱动节点和第二感测节点，其中，当在 所述第一驱动节点和所述第二驱动节点之间施加所述驱动信号时，在 所述第二驱动节点和所述第二感测节点之间存在第二寄生电流；

所述第一电容网络的所述第一输入连接到所述第二驱动节点；并 且

所述装置还包括第二电容网络，所述第二电容网络具有与所述第 一驱动节点连接的第二输入和与所述第二感测节点连接的第二输出， 所述第二电容网络基本上抵消所述第二寄生电流。

3.根据权利要求2所述的装置，其中，在所述第一驱动节点和所 述第一感测节点之间存在第一寄生电容，在所述第二驱动节点和所述 第二感测节点之间存在第二寄生电容，并且：

所述第一电容网络是第一可调网络，用于提供与所述第一寄生电 容基本上相等的第一有效电容；和

所述第二电容网络是第二可调电容网络，用于提供与所述第二寄 生电容基本上相等的第二有效电容。

4.根据权利要求3所述的装置，其中，所述第一寄生电容不同于 所述第二寄生电容，并且所述第一可调电容网络和所述第二可调电容 网络是可单独地调谐的，以得到所述第一有效电容和所述第二有效电 容。

5.根据权利要求2所述的装置，其中，所述传感器元件包括可移 动结构，所述可移动结构适于沿着第一方向和与所述第一方向垂直的 第二方向振荡，所述可移动结构的第一部分隔在所述第一驱动节点和 所述第二驱动节点之间，并且所述可移动结构的第二部分隔在所述第 一感测节点和所述第二感测节点之间，其中，施加在所述第一驱动节 点和所述第二驱动节点的所述驱动信号使所述可移动结构的所述第一 部分沿着所述第一方向振荡，并且所述第一感测节点和所述第二感测 节点检测所述可移动结构的所述第二部分响应于所述第一部分沿着所 述第一方向的振荡而出现的沿着所述第二方向的运动，沿着所述第二 方向的所述运动响应于通过绕垂直于所述第一方向和所述第二方向的 轴旋转而产生的科里奥利力。

6.根据权利要求1所述的装置，其中，所述电容网络是两端口电 容网络。

7.根据权利要求1所述的装置，其中，在所述第一驱动节点和所 述第一感测节点之间存在寄生电容，并且所述电容网络包括并联连接 的多个电容电路，用于产生与所述寄生电容基本上相等的有效电容。

8.根据权利要求7所述的装置，其中，所述电容电路中的至少两 个相对于彼此具有不同的电容。

9.根据权利要求7所述的装置，其中，所述电容电路中的至少一 个的电容不大于所述寄生电容。

10.根据权利要求9所述的装置，其中，所述电容小于1毫微微 法拉。

11.根据权利要求7所述的装置，其中，每个所述电容电路包括：

第一电容元件；

第二电容元件；

第三电容元件，所述第一电容元件、所述第二电容元件和所述第 三电容元件串联连接；

第四电容元件，所述第四电容元件具有连接在所述第一电容元件 和所述第二电容元件之间的第一端和连接到地的第二端；和

第五电容元件，所述第五电容元件具有连接在所述第二电容元件 和所述第三电容元件之间的第三端和连接到所述地的第四端。