[实用新型]用于原子层沉积反应的尾气吸收装置有效
| 申请号： | 201020576052.0 | 申请日： | 2010-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN201840964U | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 陈宇林;吴东;郭敏;高洁;王东君 | 申请（专利权）人： | 英作纳米科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/02 | 分类号： | B01D53/02;B01D46/30;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 张颖玲;迟姗 |
| 地址： | 100098 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 原子 沉积 反应 尾气 吸收 装置 | ||
1.一种用于原子层沉积反应的尾气吸收装置，其特征在于，包括：
筒状外壳，内部具有容置空间，两端分别连接有端盖，所述端盖上设置有能够贯通所述端盖的接口；
蜂窝状内芯，设置于所述筒状外壳的内部；
加热/制冷装置，设置于所述筒状外壳的外表面；
温度探头，设置于所述筒状外壳的外表面，所述温度探头与所述加热/制冷装置相连接。
2.如权利要求1所述的尾气吸收装置，其特征在于，所述端盖与所述筒状外壳活动连接。
3.如权利要求2所述的尾气吸收装置，其特征在于，活动连接的所述端盖与所述筒状外壳之间设置有密封圈。
4.如权利要求1所述的尾气吸收装置，其特征在于，所述蜂窝状内芯的内部具有两个以上直通孔道。
5.如权利要求1所述的尾气吸收装置，其特征在于，所述接口为真空接口。
6.如权利要求1所述的尾气吸收装置，其特征在于，所述筒状外壳的截面形状为圆形、长方形、正方形、椭圆形或三角形。
7.如权利要求1所述的尾气吸收装置，其特征在于，所述蜂窝状内芯的截面形状为圆形、长方形、正方形、椭圆形或三角形。
8.如权利要求1所述的尾气吸收装置，其特征在于，所述蜂窝状内芯为金属、陶瓷或塑料材料。
9.如权利要求1所述的尾气吸收装置，其特征在于，所述筒状外壳为金属材料。
10.如权利要求1所述的尾气吸收装置，其特征在于，所述蜂窝状内芯的内部设置有所述温度探头。
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