[实用新型]用于晶体生长的隔热装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及用于晶体生长的隔热装置，特别涉及一种用于大尺寸蓝宝石晶体生长系统的隔热装置。

背景技术

晶体生长的热场系统通常有保温屏、绝热层、隔热器组成。隔热器的结构是影响晶体生长热场温度梯度的关键。

蓝宝石晶体在物化性能上表象为各向异性，要生长高质量的蓝宝石晶体必须依据蓝宝石晶体本身的特性建立适合其生长的温场，合理的温度梯度是影响晶体质量的主要原因。因此依据蓝宝石晶体本身的物化性能所要求建立的温度梯度进行设计隔热器的结构非常重要。同时，为了生长高质量的蓝宝石晶体，需要所建立的温场能够在长期高温下保持稳定。

实用新型内容

针对相关技术中存在的一个或多个问题，本实用新型的目的在于提供一种用于晶体生长的隔热装置，其能够形成合理的温度梯度。

为实现上述目的，根据本实用新型的一个方面，提供了一种用于晶体生长的隔热装置，该隔热装置放置在坩埚上，并且该隔热装置包括：

多个隔热板，其相互叠放在坩埚上，并且在该叠放的多个隔热板中设置有贯通多个隔热板的孔；

间隔件，其设置在多个隔热板的相邻两个之间；以及

保持件，其设置在多个隔热板中以固定多个隔热板。

优选地，孔为阶梯孔。

优选地，阶梯孔包括邻近坩埚的第一孔和远离坩埚的第二孔，第一孔的深度小于第二孔的深度，第一孔的直径大于第二孔的直径。

优选地，第一孔的深度小于第二孔的深度。

优选地，间隔件包括横截面为U形的隔板，至少两个隔板设置在多个隔热板的相邻两层之间以在该两相邻的隔热板之间形成2-10mm的间隙H。

优选地，隔板呈放射状均匀设置，并且隔板的端部分别靠近多个隔热板的外边缘和内边缘。

优选地，保持件包括至少两根拉杆，拉杆沿纵向同时贯穿多个隔热板和隔板，在拉杆端部分别设置有防止拉杆脱离的止脱件。

优选地，止脱件包括紧固在拉杆端部的螺栓或沿径向穿过拉杆端部的销。

优选地，多个隔热板水平叠放在坩埚上。

优选地，隔热装置中与坩埚距离最近的隔热板是钨板，隔热装置中其余的隔热板是钼板/片，拉杆是由钨材料制成的。

根据本实用新型的隔热装置，在多个隔热板之间设置有U形隔板，通过在隔热板之间形成间隙，并且通过在多个隔热板中形成阶梯孔的方式，使得多个隔热板之间以热辐射的方式形成了比较理想的温度梯度；而且，U形隔板贯穿于隔热板的内、外边缘之间，使隔热板在长期高温下保持稳定、不变形，保证了隔热装置提供热场的稳定性；同时，隔热板采用熔沸点较高的钨、钼材料制成，在长期高温下，钨、钼表面对热辐射有很好的反射效果，使得辐射到隔热板上的大部分热量反射回去，因而具有很好的隔热效果。

附图说明

本实用新型上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型隔热装置实施例的立体图；

图2是图1所示实施例的剖视图；

图3是图1所示视图的俯视图；

图4是隔热板上设置有隔板和拉杆的俯视图；

图5示出了相邻两隔热板之间设置隔板的连接示意图；以及

图6是图5所示圆内的放大视图。

具体实施方式

考虑到相关技术中存在的问题，本实用新型提供一种用于晶体生长的隔热装置。下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。应理解，下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。