[实用新型]用于晶体生长的隔热装置

权利要求书

1.一种用于晶体生长的隔热装置，其特征在于，所述隔热装置放置在坩埚上，并且，所述隔热装置包括：

多个隔热板(11)，相互叠放在所述坩埚上，并且在该叠放的多个隔热板中设置有贯通所述多个隔热板的孔；

间隔件，所述间隔件设置在所述多个隔热板(11)的相邻两个之间；以及

保持件，所述保持件设置在所述多个隔热板(11)中以固定所述多个隔热板(11)。

2.根据权利要求1所述的隔热装置，其特征在于，所述孔为阶梯孔。

3.根据权利要求2所述的隔热装置，其特征在于，所述阶梯孔包括邻近所述坩埚的第一孔(14)和远离所述坩埚的第二孔(15)，所述第一孔(14)的深度小于所述第二孔(15)的深度，所述第一孔(14)的直径大于所述第二孔(15)的直径。

4.根据权利要求3所述的隔热装置，其特征在于，所述第一孔(14)的深度小于所述第二孔(15)的深度。

5.根据权利要求1所述的隔热装置，其特征在于，所述间隔件包括横截面为U形的隔板(31)，至少两个所述隔板(31)设置在所述多个隔热板(11)的相邻两层之间以在该两相邻的隔热板(11)之间形成2-10mm的间隙H。

6.根据权利要求5所述的隔热装置，其特征在于，所述隔板(31)呈放射状均匀设置，并且所述隔板(31)的端部分别靠近所述多个隔热板的外边缘(16)和内边缘(17)。

7.根据权利要求1所述的隔热装置，其特征在于，所述保持件包括至少两根拉杆(21)，所述拉杆(21)沿纵向同时贯穿所述多个隔热板(11)和所述隔板(31)，在所述拉杆(21)端部分别设置有防止所述拉杆(21)脱离的止脱件。

8.根据权利要求7所述的隔热装置，其特征在于，所述止脱件包括紧固在所述拉杆(21)端部的螺栓或沿径向穿过所述拉杆端部的销。

9.根据前述权利要求之一所述的隔热装置，其特征在于，所述多个隔热板(11)水平叠放在所述坩埚上。

10.根据权利要求8所述的隔热装置，其特征在于，其中所述隔热装置中与所述坩埚距离最近的所述隔热板(11)是钨板，所述隔热装置中其余的所述隔热板(11)是钼板/片，所述拉杆(21)是由钨材料制成的。