[实用新型]真空镀膜用钛旋转靶内径加工装置有效
| 申请号： | 201020118531.8 | 申请日： | 2010-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN201644871U | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 田军萍;熊富仓;关延春 | 申请（专利权）人： | 宝色特种设备有限公司 |
| 主分类号： | B23B47/18 | 分类号： | B23B47/18 |
| 代理公司： | 宝鸡市新发明专利事务所 61106 | 代理人： | 李凤岐 |
| 地址： | 721014 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 旋转 内径 加工 装置 | ||
1.一种真空镀膜用钛旋转靶内径加工装置，其特征在于：所述装置由刀杆(1)、刀具(2)、支撑架I(4)、连接座(5)、支撑架II(8)及刀头座(10)构成；刀杆(1)插装在支撑架I(4)和支撑架II(8)的内孔(6)中且二者为间隙配合，连接座(5)固定在刀杆(1)上且位于支撑架I(4)和支撑架II(8)之间；刀杆(1)内沿轴向制有长孔(7)，且长孔(7)的前端制有内螺纹；刀具(2)呈T”型，沿轴向制有通孔(12)，其后端插装固定在刀头座(10)上的中心孔后的凸出端制有外螺纹，刀头座(10)通过刀具(2)凸出端的外螺纹旋装在刀杆(1)前端的内螺纹上，且刀具(2)上的通孔(12)与刀杆(1)内的长孔(7)相贯通。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜用钛旋转靶内径加工装置，其特征在于：所述支撑架I(4)和支撑架II(8)的内孔(6)中均套装有铜套(9)，且刀杆(1)插装在铜套(9)中且二者为间隙配合。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜用钛旋转靶内径加工装置，其特征在于：所述连接座(5)由“T”型座(11)和弧形压板(15)构成，“T”型座(11)的一端制有“V”型凹槽，另一端制有矩形凸台，刀杆(1)位于“V”型凹槽中，弧形压板(15)固定在“V”型凹槽上将刀杆(1)固定在“T”型座(11)上。
4.根据权利要求1或2或3所述的真空镀膜用钛旋转靶内径加工装置，其特征在于：所述刀头座(10)沿周向套装固定有尼龙导向套(3)。
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