[实用新型]三氯氢硅合成炉内置进气孔板连接结构无效
申请号: | 201020101473.8 | 申请日: | 2010-01-22 |
公开(公告)号: | CN201620029U | 公开(公告)日: | 2010-11-03 |
发明(设计)人: | 王国林;李俊亮;黄志亮;申伏龙 | 申请(专利权)人: | 江苏福斯特石化装备有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 225500 江苏省姜堰市经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 三氯氢硅 合成 内置 气孔 连接 结构 | ||
【权利要求书】:
1.一种三氯氢硅合成炉内置进气孔板连接结构,它由进气室法兰(3)、进气孔板(6)和螺钉(5)组成;所述进气室法兰(3)与反应段法兰(1)止口相配,两者结合面之间设有密封垫(2)并由螺栓(4)连接成一体;其特征在于:进气室法兰(3)设有安装筛状进气孔板(6)的凹形止口,平置的进气孔板(6)通过螺钉(5)直接与进气室法兰(3)凹形止口相连接。
2.根据权利要求1所述的三氯氢硅合成炉内置进气孔板连接结构,其特征在于:所述进气孔板(6)与进气室法兰(3)的凹形止口直接间隙配合。
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