[实用新型]三氯氢硅合成炉内置进气孔板连接结构无效

专利信息
申请号: 201020101473.8 申请日: 2010-01-22
公开(公告)号: CN201620029U 公开(公告)日: 2010-11-03
发明(设计)人: 王国林;李俊亮;黄志亮;申伏龙 申请(专利权)人: 江苏福斯特石化装备有限公司
主分类号: C01B33/107 分类号: C01B33/107
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 225500 江苏省姜堰市经*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 三氯氢硅 合成 内置 气孔 连接 结构
【权利要求书】:

1.一种三氯氢硅合成炉内置进气孔板连接结构,它由进气室法兰(3)、进气孔板(6)和螺钉(5)组成;所述进气室法兰(3)与反应段法兰(1)止口相配,两者结合面之间设有密封垫(2)并由螺栓(4)连接成一体;其特征在于:进气室法兰(3)设有安装筛状进气孔板(6)的凹形止口,平置的进气孔板(6)通过螺钉(5)直接与进气室法兰(3)凹形止口相连接。

2.根据权利要求1所述的三氯氢硅合成炉内置进气孔板连接结构,其特征在于:所述进气孔板(6)与进气室法兰(3)的凹形止口直接间隙配合。

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