[发明专利]局部激光熔融磷硅玻璃制作选择性发射极太阳电池的方法

权利要求书

1.一种局部激光熔融磷硅玻璃制作选择性发射极太阳电池的方法，其特征是：包括下列步骤：

（1）清洗晶片表面损伤层，并将表面织构化；

（2）利用热扩散进行磷扩散，形成n型层，同时在表面生成10-200nm厚的磷硅玻璃，磷硅玻璃中的磷含量通过扩散过程中通入磷源的量进行调节，磷硅玻璃厚度通过扩散过程中通入的氧气的量进行调节；

（3）利用激光在晶片前表面根据金属化图形扫描热扩散掺杂后的磷玻璃，通过局部熔融晶片，使激光扫描部位磷硅玻璃中的磷元素进一步扩散到晶片中去，形成相对较重的掺杂区域；

（4）进行边界隔离；

（5）在碱性溶液中去除激光熔融晶片过程中形成的损伤层；

（6）去除剩余磷硅玻璃，；

（7）通过等离子化学汽相淀积的方式在前表面形成厚度为60-150 nm的涂层，该涂层包括钝化层和增透膜，该涂层的钝化层为SiOx、SiCx、SiNx或Al2O3薄膜，或钝化层为叠层结构，且叠层的顶层为SiNx薄膜；

（8）把银浆通过丝网印刷的方式镀压在晶片前表面上，在激光扫描过的区域形成前电极；

（9）把银浆通过丝网印刷的方式镀压在晶片后表面上，形成背电极，把铝浆通过丝网印刷的方式镀压在晶片后表面，形成背电场；

（10）将晶片在700--1000℃烧结，使金属电极元素和晶片中的硅形成共晶。

2.根据权利要求1所述的局部激光熔融磷硅玻璃制作选择性发射极太阳电池的方法，其特征是：步骤（1）中所述的表面织构化：对于单晶，采用碱溶液进行金字塔制绒；对于多晶，采用酸各向同性制绒。

3.根据权利要求1或2所述的局部激光熔融磷硅玻璃制作选择性发射极太阳电池的方法，其特征是：步骤（2）中的热扩散可采用管式扩散，也可采用在线式扩散方式。

4.根据权利要求1或2所述的局部激光熔融磷硅玻璃制作选择性发射极太阳电池的方法，其特征是：步骤（4）中的边界隔离采用等离子刻边、湿法化学刻边或在整个工艺最后采用激光刻边。

5.根据权利要求1或2所述的局部激光熔融磷硅玻璃制作选择性发射极太阳电池的方法，其特征是：步骤（6）采用在线式或槽式酸性溶液去除磷硅玻璃。