[发明专利]被覆件及其制造方法无效
| 申请号： | 201010551110.9 | 申请日： | 2010-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN102465251A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;张满喜 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/35;B32B9/04;B32B15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 被覆 及其 制造 方法 | ||
1.一种被覆件，包括铝或铝合金基体及形成于该铝或铝合金基体上的具有防腐蚀功能的颜色层，其特征在于：该被覆件还包括形成于所述铝或铝合金基体与颜色层之间的非晶合金层，该非晶合金层为Fe70Cr10B13X7层，其中，X选择磷、碳及硅中的任一种。
2.如权利要求1所述的被覆件，其特征在于：该非晶合金层的厚度为2.0～3.0μm。
3.如权利要求1所述的被覆件，其特征在于：所述颜色层为TiN层、TiNO层、TiCN层、CrN层、CrNO层或CrCN层。
4.如权利要求1所述的被覆件，其特征在于：所述非晶合金层及颜色层分别通过磁控溅射镀膜法制成。
5.一种被覆件的制造方法，包括以下步骤：
提供铝或铝合金基体；
选择Fe70Cr10B13P7、Fe70Cr10B13C7及Fe70Cr10B13Si7中任一种为靶材，于该铝或铝合金基体上磁控溅射非晶合金层；
于该非晶合金层上磁控溅射具有防腐蚀功能的颜色层。
6.如权利要求5所述的被覆件的制造方法，其特征在于：磁控溅射所述非晶合金层的工艺参数为：以氩气为工作气体，其流量为150～300sccm，设置占空比为30％～70％，于铝或铝合金基体上施加-50～-300V的偏压，选择Fe70Cr10B13P7、Fe70Cr10B13C7或Fe70Cr10B13Si7靶材的功率为8～10kw，溅射温度为100～150℃。
7.如权利要求6所述的被覆件的制造方法，其特征在于：溅射所述非晶合金层的时间为30～90min。
8.如权利要求5所述的被覆件的制造方法，其特征在于：所述颜色层为TiN层，磁控溅射形成该颜色层的工艺参数为：以氩气为工作气体，其流量为150～300sccm，以氮气为反应气体，其流量为10～120sccm，设置占空比为30％～70％，于铝或铝合金基体上施加-50～-300V的偏压，采用钛靶为靶材，设置其电源功率为5～10kw，溅射温度为100～150，溅射时间为20～60min。
9.如权利要求5所述的被覆件的制造方法，其特征在于：所述被覆件的制造方法还包括在形成所述非晶合金层之前对铝或铝合金基体进行氩气等离子体清洗的步骤。
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