[发明专利]一种太阳能电池用铜铟镓硫薄膜的制备方法无效

专利信息
申请号: 201010530299.3 申请日: 2010-11-03
公开(公告)号: CN102024878A 公开(公告)日: 2011-04-20
发明(设计)人: 王长君;苏青峰;赖建明;张根发;吴明明;罗军;李帅 申请(专利权)人: 上海联孚新能源科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 上海硕力知识产权代理事务所 31251 代理人: 郭桂峰
地址: 201201 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 太阳能电池 用铜铟镓硫 薄膜 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种太阳能电池用铜铟镓硫薄膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

(a)前驱体油墨浆料制备:将含Cu、含In、含Ga的化合物和S化物,按照In、Ga离子摩尔比为1~4:1;Cu、(In+Ga)、S离子摩尔比为1~2:1:5~8配置,并加入一定量溶液调节剂,搅拌24h,得到前驱体油墨浆料;

(b)前驱体薄膜制备:将步骤a中所述油墨浆料利用丝网印刷方法,在钠钙玻璃Mo衬底上制备前驱体薄膜,反复印刷,薄膜厚度约为8μm;

(c)干燥还原:将步骤b制备的所述前驱体薄膜,干燥还原,采用H2气还原,升温速率为2~10℃/min,在200~300℃保温30~60min;

(d)硫化退火:将步骤c还原制备的前驱体薄膜,进行硫化退火形成铜铟镓硫薄膜。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池用铜铟镓硫薄膜的制备方法,其特征在于,所述步骤a中含Cu的化合物是Cu(NO3)2或Cu(NO3)2·3H2O,含In的化合物是In(NO3)3 或In(NO3)3·5H2O,所述S化物是Na2S·9H2O,所述含Ga的化合物是Ga(NO3)3·9H2O或Ga纳米粉。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池用铜铟镓硫薄膜的制备方法,其特征在于,所述步骤d中的硫化退火是指采用S纳米粉,将炉体抽至真空度为3×10-5Pa,升温速率为2~10℃/min,其中硫源温度约为250~300℃,前驱体薄膜温度约为450~600℃,硫化时间为30~90min。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池用铜铟镓硫薄膜的制备方法,其特征在于,所述步骤d中制得的铜铟镓硫薄膜厚度为1000~3000nm。

5.根据权利要求1所述的太阳能电池用铜铟镓硫薄膜的制备方法,其特征在于,所述步骤a中溶液调节剂是指无水乙醇和/或松油醇和/或乙基纤维素。

6.根据权利要求1所述的太阳能电池用铜铟镓硫薄膜的制备方法,其特征在于,所述步骤c中采用H2气还原后还需在H2含量为5%的Ar2气氛中保温30~60min。

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