[发明专利]一种太阳能电池用铜铟镓硫薄膜的制备方法无效
申请号: | 201010530299.3 | 申请日: | 2010-11-03 |
公开(公告)号: | CN102024878A | 公开(公告)日: | 2011-04-20 |
发明(设计)人: | 王长君;苏青峰;赖建明;张根发;吴明明;罗军;李帅 | 申请(专利权)人: | 上海联孚新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 上海硕力知识产权代理事务所 31251 | 代理人: | 郭桂峰 |
地址: | 201201 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 用铜铟镓硫 薄膜 制备 方法 | ||
1.一种太阳能电池用铜铟镓硫薄膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
(a)前驱体油墨浆料制备:将含Cu、含In、含Ga的化合物和S化物,按照In、Ga离子摩尔比为1~4:1;Cu、(In+Ga)、S离子摩尔比为1~2:1:5~8配置,并加入一定量溶液调节剂,搅拌24h,得到前驱体油墨浆料;
(b)前驱体薄膜制备:将步骤a中所述油墨浆料利用丝网印刷方法,在钠钙玻璃Mo衬底上制备前驱体薄膜,反复印刷,薄膜厚度约为8μm;
(c)干燥还原:将步骤b制备的所述前驱体薄膜,干燥还原,采用H2气还原,升温速率为2~10℃/min,在200~300℃保温30~60min;
(d)硫化退火:将步骤c还原制备的前驱体薄膜,进行硫化退火形成铜铟镓硫薄膜。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池用铜铟镓硫薄膜的制备方法,其特征在于,所述步骤a中含Cu的化合物是Cu(NO3)2或Cu(NO3)2·3H2O,含In的化合物是In(NO3)3 或In(NO3)3·5H2O,所述S化物是Na2S·9H2O,所述含Ga的化合物是Ga(NO3)3·9H2O或Ga纳米粉。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池用铜铟镓硫薄膜的制备方法,其特征在于,所述步骤d中的硫化退火是指采用S纳米粉,将炉体抽至真空度为3×10-5Pa,升温速率为2~10℃/min,其中硫源温度约为250~300℃,前驱体薄膜温度约为450~600℃,硫化时间为30~90min。
4.根据权利要求1所述的太阳能电池用铜铟镓硫薄膜的制备方法,其特征在于,所述步骤d中制得的铜铟镓硫薄膜厚度为1000~3000nm。
5.根据权利要求1所述的太阳能电池用铜铟镓硫薄膜的制备方法,其特征在于,所述步骤a中溶液调节剂是指无水乙醇和/或松油醇和/或乙基纤维素。
6.根据权利要求1所述的太阳能电池用铜铟镓硫薄膜的制备方法,其特征在于,所述步骤c中采用H2气还原后还需在H2含量为5%的Ar2气氛中保温30~60min。
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