[发明专利]用于自动光学检查的可塑模制反射部件

权利要求书

1.一种用于制造反射元件的方法，所述方法包括：

设计所述反射元件或接收所述反射元件的设计；

创建用于制造所述反射元件的精确模具，其中所述精确模具的精度在纳米范围内；

使用所述精确模具模制所述反射元件；以及

用反射涂层涂覆所模制的反射元件。

2.根据权利要求1所述的方法，包括模制具有镜子的反射元件，所述镜子从正面观看时具有拱形细长形状，其中两个安装元件在所述镜子的两个短边附近以彼此平行的关系向外延伸，其中所述镜子具有在镜子的大部分周边长度处彼此平行的凹面和凸面，其中所述镜子的上边以窄尖结束。

3.根据权利要求2所述的方法，包括模制包括从所述镜子的凸面延伸的细长结构的肋状物的镜子组件。

4.根据权利要求2所述的方法，包括从所述反射元件去除材料。

5.根据权利要求1所述的方法，包括用保护涂层涂覆所述反射涂层。

6.根据权利要求1所述的方法，包括将所述反射元件安装在自动光学检查机器中。

7.根据权利要求6所述的方法，包括使用所述反射元件来执行光学检查。

8.根据权利要求1所述的方法，包括通过使用金刚石车削工艺来创建所述精确模具。

9.一种反射元件，包括从正面观看时具有拱形细长形状的镜子，其中两个安装元件在所述镜子的两个短边附近以彼此平行的关系并且基本上平行于Z轴地向外延伸，其中所述镜子具有在所述镜子的大部分周边长度处彼此平行的凹面和凸面，其中所述镜子的上边以窄尖结束。

10.根据权利要求9所述的反射元件，包括从所述镜子的凸面延伸的细长结构的肋状物。